TiO2纳米微晶的RF-PCVD法制备及表征.pdfVIP

第13卷第4期 材料科学与工艺 V01．13No．4 2005年8月 MATERIALSSCIENCETECHNOLOGYAug．，2005 徐海萍1，孙彦平1，王俊文1，陈新谋2 (1．太原理工大学洁净化工研究所，山西太原030024，E-mail：ypsun@tyut．edu．cn； 2．石家庄新谋新科技开发有限公司，河北石家庄050091) 摘要：以TiCl4为原料，采用高频等离子化学气相沉积(RF—PCVD)法制备了TiO：纳米微晶，考察了控制 粒径大小及晶相转化的关键操作条件．借助XPS、TEM、XRD、BET等技术对颗粒的化学组成、形貌、晶相结构 nm，单分散性良好；颗粒中 等进行了表征．研究表明：所得TiO：纳米微晶大部分为球形体颗粒，粒径30—50 锐钛相和金红石相两相共存，结晶完整；金红石相含量在26．7％一53．6％之间可调． 关键词：纳米微晶；Ti02；RF—PVCD；制备；表征 中图分类号：0614．41 文献标识码：A 文章编号：1005—0299(2005)04—0411—04 and characterizationof Preparation Ti02nano·microcrystals radio chemical by frequencyplasma vapordeposition XU Xin—mou2 Jun．wenl，CHEN Hai．pin91，SUNYan—pin91，WANG ofClean forChemical of (1．Institute 030024，China，E—mail： Technique Engineering，TaiyuanUniversityTechnology，Taiyuan New of Economic Technique Zone， ypsun@tyut．edu．ca；2．XinmouCorporationShijiazhuangDevelopment Shijiazhuang050091，China) were Radio PlasmaChemical Abstract：Ti02nano—microcrystalspreparedby Frequency VaporDeposition conditions the sizeand transitionwerealso (RF—PCVD)withTiCl4．Theoperation controllingparticle crystal of chemical of investigated．ThepropertiesTi02particlesincluding werecharacterized andBETetc．Theresultsshowthatthemost in crystalphase b