TiNTi多层膜调制比对摩擦磨损行为影响的研究.pdfVIP

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2015-09-02 发布于湖北
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TiNTi多层膜调制比对摩擦磨损行为影响的研究.pdf

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TiNTi多层膜调制比对摩擦磨损行为影响的研究.pdf

第23卷第4期无机材料学报 Vbl．23．No．4 Journalof Materials Jul．，2008 2008年7月 Inorganic 文章编号：1000—324x(2008)04一0758一05 TiN／Ti多层膜调制比对摩擦磨损行为影响的研究龚海飞，邵天敏，张晨辉，徐军 (清华大学摩擦学国家重点实验室，北京100084) 摘要：考察了TiN／Ti多层膜调制比对其摩擦磨损行为的影响．采用磁过滤阴极弧沉积的方法制备了具有不同调制比的TiN／Ti多层膜，用扫描电镜和透射电镜对其层状结构及子层结构进行了观察和分析．用纳米压痕和SRv摩擦磨损试验的方法，对多层膜进行了纳米硬度和弹性模量测试以及摩擦磨损实验．结果表明，所制备的TiN／Ti多层膜层状结构清晰，与基底结合良好，调制比对多层膜的硬度和磨损特性影响较大，而对摩擦系数的影响却不明显．结合实验结果，讨论了硬度与弹性模量的比值(H／E值)对TiN／Ti多层膜耐磨性的影响．关键词：TiN／Ti；多层膜；层状结构；摩擦磨损中图分类号：THll7文献标识码：A of Ratioonnictionand、№arBehaviorof Innuence Modulating TiN／Ti Multil如rerCoatings GONG Jun Hai—F西，SHAOTiaI卜Min，ZHANGC11en—Hui，XU of KeyLaborator)rnibolo鲥，TsinghuauniversityBeijing100084，China) (state andwearbehaⅣiorof Abstract：Influenceof ratioon行iction coatings modulating TiN／Timultilayer methodwas in of wasstudied．Filteredcathodevacuum preparation arc(FCVA)depositionapplied withdiⅡ．erent electron coatings modulatingratios．scanning TiN／Timultilayer usedi11thefllmstructureobservationandindividual transmissionelectron layer microscope(TETvI)were andelasticmoduleweretestednano—indenterandtheftiction analysis．Fhrthermore，nanohardnessby