化学溶液分解法制备LaNiO3薄膜的研究.pdfVIP

第22 卷第4 期 红 外 与 毫 米 波 学报 VoI. 22 ，No. 4 2003 年8 月 J. Infrared MiIIim. Waves August ，2003 化学溶液分解法制备LaNiO3 薄膜的研究 1，2 ） 1 ） 1 ） 1 ） 1 ） 1 ） 2 ） 李亚巍 孟祥建 于 剑 王根水 孙璟兰 褚君浩 张伟风 1） （ 中国科学院上海技术物理所红外物理国家实验室，上海，200083 ； 2 ）河南大学物理系，河南，开封，475001） 摘要 采用化学溶液分解法直接在单晶Si（100 ）衬底上制备了LaNiO3 薄膜，研究了不同热处理气氛（空气和氧气） 对薄膜的结晶性、晶粒尺寸、电阻率以及其上面生长的锆钛酸铅（PZT ）薄膜的影响. 结果发现二种气氛得到的 LaNiO3 薄膜的电阻率相差较大，其中在氧气中制备的薄膜电阻率仅为在空气中得到的1/ 2 . 对LaNiO3 薄膜的导电 机制进行了讨论. 关键词 退火气氛，LaNiO3 薄膜，CSD ，电阻率. STUDY ON THE PREPARATION OF LaNiO THIN FILMS 3 USING CHEMICAL SOLUTION DECOMPOSITION METHOD 1，2 ） 1） 1） 1） 1） LI Ya-Wei MENG Xiang-Jian YU Jian WANG Gen-Shui SUN Jing-Lan 1） 2 ） CHU Jun-Hao ZHANG Wen-feng 1） （ NationaI Laboratory for Infrared Physics ，Shanghai Institute of TechnicaI Physics ，Shanghai 200083 ，China ； 2 ）Department of Physics ，Henan University ，Kai feng ，Henan 475001，China ） Abstract LaNiO3 thin fiIms on Si（100 ）substrates were prepared using chemicaI soIution decomposition method （CSD ）. The effects of anneaIing atmosphere （air and oxygen ）on the crystaIIinity ，grain size and resistivity of LaNiO3 thin fiIms ， and th