SnO2基薄膜气体传感器制作和敏感性测试.pdfVIP

Sn02基薄膜气体传感器制作与敏感性测试 口竺志大 口王昌龙 扬州大学机械工程学院江苏扬州225009 摘要：在现有的粉末烧结型Snoz基气体传感嚣基础上研制了薄膜型Sn0：基气体传感器，以抛光的耐热石英玻璃为 基片，真空磁控溅射50—70 面溅射30“m的Ni80Cr20电阻合金作为传感器加热电阻，用薄膜热电偶测量传感器工作温度。测试了不同的复合膜对传 感器灵敏度和选择性的影响．并对传感器的吸附与解吸速度进行了测试，薄膜传感器达到相同灵敏度所需的工作温度比 粉末烧结型传感器下降100—150℃，吸附解吸速度比粉末烧结型快。 关键词：薄膜气体传感器Sn02烧结型气体传感器真空磁控溅射传感器灵敏度 中图分类号：TN305．92 文献标识码：A 1 气体传感器研制现状 目前市场上销售的气体传感器，95％以上属于金 属氧化物气体传感器，这其中SnO：基气体传感器占绝 大部分。其它种类的气体传感器数量极少，主要是其它 种类的气体传感器制造相对困难，性能不够稳定，与传 统检测电路接口有一定难度II．：·”。 Sn02基气体传感器电路简单，使用方便，但工作温 度高、功耗大、选择性不强。目前市场上销售的Sn02基 气体传感器多为粉末烧结型气体传感器，结构见图1[41。 TiO：等材料。然后在每段敏感薄膜两端jIff盖镀一圈镍 铬合金作为电极基础，最后将箔状引线包裹在电极镀 层上引出。在背面溅射30斗m厚度的电阻合金 Ni80Cr20作为传感器加热电阻，中部镀小块康铜合金， 并用康铜线引出。形成镍铬一康铜薄膜热电偶用于检 测传感器工作温度(分度号非标准，自行标定)。 3薄膜气体传感器工作原理探讨 与传统的用细电阻丝加热的气体传感器相比，薄 膜状电热元件能承受相当大的加热负荷，而不会发生 2薄膜气体传感器制作 加热丝断裂等故障。 我们采用真空磁控溅射成膜技术，制作集成化的 试验制作了多层复合氧化物膜气体传感器，主要 SnO：基纳米薄膜传感器，利用纳米尺度薄膜电性能与 是在SnO：膜层基础上再溅射一层不连续的CeO：、 常规尺寸材料电导效应的差异，降低传感器工作温度。 Fe：O，、TiO：或InO：薄层，用石英晶体谐振式膜厚测量仪 另外还通过多种复合膜方法提高对不同气体的选择 测量镀膜厚度。保证第二层膜厚不超过15nna(否则成 性，试验表明采用适当的复合膜后工作温度可下降 为连续膜)，利用不同成分的不连续孤岛状复合膜，提 高选择性能。 100—150。C。图2为本课题组研制的SnO：基纳米薄膜 传感器结构。 虽然Sn02基薄膜气体传感器敏感原理也属于表 采用耐热石英玻璃(K9)镜面抛光后镀膜制作，先层吸附氧的氧化还原过程，但薄膜与烧结体在性能上 在不需要镀膜的部位覆盖防镀涂层，作为两个传感器 存在很大的差别。试验表明，与毫米尺度的粉末烧结型 之间的分隔。再在其余部分溅射敏感膜，并在SnO：膜 传感器相比，纳米薄膜响应极快，比起多孔性的烧结材 收稿日期：2008年9月 料，气体分子更容易吸附和解吸。 d薯啬机械制造46卷第532期 2008／12回 万方数据 因SiO：基底和snO：之