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离子溅射对氚钛靶寿命的影响.pdf
第37卷第1期 原 子 能 科 学 技 术 Vol. 37 ,No. 1
2003年1月 Atomic Energy Science and Technology Jan. 2003
离子溅射对氚钛靶寿命的影响
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姚泽恩 ,陈尚文 ,董明义 ,贾文宝 ,关永超
( 1 兰州大学 现代物理系 ,甘肃 兰州 730000 ;2 中国工程物理研究院, 四川 绵阳 621900)
摘要 :应用 TRIM 程序模拟了离子在氚钛靶上的溅射产额。结果显示 ,O + 、N + 、C + 和 D + 等在氚钛靶上
2
的溅射是导致氚钛靶寿命下降的重要因素。为了减小离子溅射对氚钛靶寿命的影响 ,束流入射角应小
于 45°。
关键词 :离子溅射 ;氚钛靶 ;寿命
中图分类号: TL51 文献标识码 :A 文章编号 (2003)
Sputtering Effect on Lifetime of Titanium Tritide Target
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YAO Zeen , CHEN Shangwen , DON G Mingyi , J IA Wenbao , GUAN Yongchao
( 1. Depart ment of Modern Physics , L anz hou U niversity , L anz hou 730000 , China ;
)
2 . China Academy of Engineering Physics , Mianyan g 621900 , China
Abstract : Ion sputtering yields on TTi target are numerically calculated with TRIM pro
gram. The data of sputtering yields demonstrate that O + , N + , C + and D + would bring
2
about the decrease of lifetime of TTi target . In addition , the incident angle of ion beam
should be less than 45°for decreasing the effect of ion sputtering.
Key words : ion sputtering ; TTi target ; lifetime
作为一种重要的中子源 ,氘氚反应快中子 以下几个方面:氘强流离子束轰击造成靶片过
发生器被广泛应用于核数据测量、聚变堆材料 热 ,氚气从钛
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