薄膜和多层膜的X射线散射方法与应用.pdf

X 射线衍射应用专题 薄膜和多层膜的 X射线散射方法与应用 张爱梅 　　吴小山 (南京大学固体微结构物理国家重点实验室 　南京大学物理系 　2 10093) 摘 　要 　　文章主要介绍了几种 X射线散射技术 ,包括 X射线小角反射技术 、X射线漫散射技术 、掠入射 X射线衍射 和多晶薄膜的小角衍射技术 。通过具体的事例说明这些 X射线散射方法在薄膜研究中的应用 。 关键词 　　薄膜 , X射线散射 ,微结构 Xray sca tter ing m ethods for f ilm s and m ultilayers and the ir applica tion s ZHAN G A iM ei　　WU X iaoShan (L abora tory of S olid S ta teM icrostructu res, D ep a rtm en t of P hy sics, N anj ing Un iversity, N anj ing 2 10093, Ch ina) Ab stract　　Several Xray diffraction / scattering techn ique s, including grazing incident Xray reflectivity, tran s verse Xray diffu se scattering, grazing incident Xray diffraction and Xray sm allangle diffraction , for the charac terization of film s and mu ltilayers are described. Three examp les are given to show the app lication of the se m eth od s. Keywords　　film , Xray scattering, m icro structure X射线是一种高频电磁波 ,含有电场分量和磁 1　引言 场分量 。当 X射线照射到材料上 ,材料中的组成基 本单元如核子 、电子 、库仑场 、磁矩等对 X 射线产生 薄膜和多层膜因为其特殊的物理效应而成为现 散射 , 由于散射截面的巨大差异 ,通常我们只考虑材 代器件的材料基础 。薄膜和异质结构能够表现出多 料中电子对 X射线的散射 。当 X 射线被散射时 ,散 种独特的物理性质 ,涉及光 、电、磁 、热等众多体系 。 射波与入射波中满足相干条件的波互相干涉 ,在特 ( ) 定的方向上互相加强 ,散射强度的空间分布决定于 如磁 /非磁多层膜系统具有巨磁 电阻效应 GMR , 半导体的超晶格表现出特殊的能带结构 ,而介电常 晶体中各组成原子的种类及其分布 。对散射强度空 数调制的超晶格能够表现出特殊的光学性质 。对人 间分布的分析可以构造材料中电子分布的信息 ——— 工薄膜材料 ,薄膜的厚度 、质量 、生长方法 、工艺及生 周期性 、短程周期性或无序等 ,从而可以得到材料的 长参数等是影响其物理性质的关键因素 。例如 ,在