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!# 年 仪 表 技 术 与 传 感 器 !# 第 期 5 @,FJO;-G,J 1GKC,:W;G ,H ZG,FDO 8D*5 基于!# 光纤光栅薄膜温度传感器的研究 王秋艳，谢 中 （湖南大学材料科学与工程学院，湖南 长沙 $%’( ） 摘要：基于 ’() 光纤光栅的温度传感原理，采用薄膜的多层膜系分析方法建立了 ’() 光纤光栅薄膜传感器的理论模 型，并利用光学薄膜中心波长随温度呈线性变化制成温度传感装置。计算表明，当薄膜与基片的热膨胀系数相同时，薄膜 的温度传感系数与’() 的相当。实际测得所用膜系的温度传感系数为*+ ,- . / 0 关键词： 温度传感；多层膜；薄膜温度传感 ’() 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） 12!+! 0++ 3 +! $ +45+ !# 5 $ 6 $ % )*+,- ./ !# !0123 #34*056 7805 !09: )25;.3; ， 738) 9:;=, ?@A BCD,E （ ， ， ， ） .99262 ./ =4*23049 )0252 45, ?5605223056 @+545 A50B23;0*- 8456;84 $%’( 8054 ： （ ） ， C1;*34* (FGH D, DIJ:KL M:NGO (OEE EOJ:,E ’() FG,FDOF JCGDOGJ:KL -DHGL PF GFJNL:FCGH MDO ’() JC:, M:L- FG,FDOF 0 ’:NGO EOJ:,E PF JOGJGH F -;LJ:ILG JC:,M:L- FJKQ 0 1CG FG,F:,E KCOKJGO:FJ:K PF ,L=RGH ,H :JSF JCGDOGJ:KLL= JCJ JCG JG-IGOJ;OG FG,F:J:T: ， ， J= DM JCG M:L- JG-IGOJ;OG FG,FDOF K, NG GL:-:,JGH 0 UG,PC:LG PCG, JCG KDGMM:K:G,J DM JCGO-L GVI,F:D, DM M:L- :F F-G JD F;NFJOJG JCG TO:J:D,F :, OGMLGKJ:D, PTGLG,EJC NGJPGG, JCG M:L- FG,FDOF ,H ’() PGOG IIODV:-JGL= GW;L 0 1CG TO:J:D, :F *+ ,- . / 0 ： ； ； D2- E.3,; ’() JG-IGOJ;OG FG,F:,E -;LJ:ILG JC:,M:L- M:L- JG-IGOJ;OG FG,F:,E 引言