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透明导电氧化锌薄膜的制备/贾 芳等 ·13 · 透明导电氧化锌薄膜的制备 贾 芳，马晓翠，吕有明，曹培江，朱德亮 ( 深圳大学材料学院，深圳市特种功能材料重点实验室，深圳 518060) 摘要 简单回顾了透明导电氧化锌薄膜的发展历程，着重介绍了各种氧化锌薄膜的制备方法和各自的优缺点，以及改进 方案和在实际生产中的应用，分析了透明导电氧化锌薄膜存在的问题和解决问题的思路，最后对于氧化锌这种极具潜力的材 料进行了展望。 关键词：氧化锌 透明导电薄膜 制备方法 Preparation of Transparent Conductive ZnO Thin Film JIA Fang, MA Xiaocui, LU Youming, CAO Peijiang, ZHU Deliang ( Department of Material Science and Engineering, Shenzhen University, Shen