硅及硅基半导体材料中杂质缺陷和表面的研究.pdfVIP

2000 年 1 月 中国工程科学 Jan2000 第 2 卷第 1 期 Engineering Science Vol 2 No 1 专 题 报 告 硅及硅基半导体材料中杂质缺陷和表面的研究 屠海令 (北京有色金属研究总院 , 北京 　100088) 随着超大规模集成电路设计线宽向深亚微米级 ( 0 5 μ ) ( μ ) [摘要] 　 m 和亚四分之一微米级 0 25 m 发 展 , 对半导体硅片及其它硅基材料的质量要求越来越高 , 研究上述材料中各种杂质的行为 , 控制缺陷类型及数 量 , 提高晶体完整性 ,