溶胶_凝胶法制备铁酸镧LaFeO_3薄膜.pdfVIP

2009 年10 月 广西轻工业 第10 期（总第131 期） GUANGXI JOURNAL OF LIGHT INDUSTRY 化工与材料 溶胶—凝胶法制备铁酸镧LaFeO薄膜 3 陈如麒，劳媚媚，徐军 （华南农业大学公共基础课实验教学中心，广东广州 51 0642） 【摘 要】 铁酸镧（LaFeO ，LFO）薄膜是一类重要的介电薄膜材料，是目前国内外研究的前沿和热点之一。综述了用溶胶- 3 凝胶法制备LaFeO 3 薄膜的基本原理、工艺过程及其特点。 【关键词】 铁酸镧；LaFeO ；溶胶- 凝胶法 3 【中图分类号】 TB43 TB43 【文献标识码】 A 【文章编号】 1003- 2673(2009)10－18－02 1 引言