脉冲激光气相沉积技术和其在ICF薄膜靶制备中的应用.pdfVIP

　第 14 卷 　第 6 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol. 14 ,No. 6 　 　2002 年 11 月 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS Nov. ,2002 　 ( ) 文章编号 : 2002 脉冲激光气相沉积技术及其在 ICF 薄膜靶制备中的应用 吴卫东 , 　许 　华 , 　魏 　胜 , 　唐永建 , 　陈正豪 ( 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900) ( ) 　　摘 　要 : 　在