复杂光学系统中的干涉条纹图像的精确仿真方法.pdfVIP

第45卷第1期 机 械 工 程 学 报 V01．45No．1 2009年1月 Jan。 2009 OFMECHANICALENGINEERrNG JOURNAL DoI：10．3901／JME．2009．01．244 复杂光学系统中的干涉条纹图像的精确仿真方法木 方素平1 小森雅晴2 久保爱三2梅雪松1 (1．西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室西安710049； 2．日本京都大学工学院精密工学系京都606．8501日本) 摘要：精密复杂曲面形状的干涉测量光学系统的设计和测量误差分析一般采用光线追迹的方法进行，但用传统方法进行追迹 计算时，计算结果不能用直观的干涉条纹仿真图像的形式来表示，常常难以有效地进行分析和判断。在提出的考虑光学元件 安装误差的精确光线追迹方法的基础上，对来自于测量对象面的物体光的光程差的精确计算方法、和与物体光的位置对应的 参照光侧的光线追迹方法进行探讨，给出物体光与参照光的位相差的精确计算方法，提出一种实用的干涉条纹仿真图像的作 成方法，及测量对象面仿真计算的初始化方法，再以平面测量试验片和齿轮齿面为对象，进行仿真计算和实测，验证所提出 的方法的正确性。 关键词：光线追迹图像仿真干涉条纹激光干涉光程位相差 中图分类号：TN247 SimulationMethodfor ofInterference Precision Images Patternin Fringe ComplexOpticalSystem KUBO FANG KOMORIMasaharu2Aizoh2MEI Supin91 Xueson91 710049： (1．StateKeyLaboratoryofManufacturingSystemsEngineering，Xi’allJiaotongUniversity,Xi’an ofPrecision of Engineering，Facuity 2．Department Engineering， 606—850 KyotoUniversity,Kyoto1，Japan) tomeasuretheform and Abstract：Theandtheerror interferometry siLrface design analysisofoptical system ofprecisecomplicated traditional are carriedout methodisusedfor byusingraytracingmethod．However,when calculation，the generally