微腔放电中光谱法测量气体温度适用性分析.pdf

!墅盟!!丝二塑堕 实 验 室 科 学 第16卷第5期2013年lO月 CNl2一1352／N SCIENCE V01．16No．5 Oct．2013 LABORATORY 微腔放电中光谱法测量气体温度适用性分析 夏广庆1，王冬雪2 (大连理工大学1．．y-,_lk装备结构分析国家重点实验室；2．物理与光电工程学院，辽宁大连 116024) 摘要：针对微腔放电(MCD)装置，采用光学发射光谱的方法，通过在氩气中添加少量氮 气，分析氮分子第一正带系和氮分子离子第一负带系测量了MCD中的气体温度。实验研究和 理论分析表明，氮分子第一正带系测量的气体温度客观正确，而氮分子离子第一负带系测量 的气体温度明显偏高，其原因是由于碰撞淬灭效应，N；(B2乏：)态的有效寿命与转动松弛 、‘… 时间相近，致使转动松弛不完全，转动能级的分布不是平衡态分布，因此所测量的转动温度 不能合理体现气体温度。故采用光谱诊断法测量高气压下微等离子体气体温度时，利用氮分 子第一正带系更准确合理。 关键词：微腔放电；转动温度；气体温度；光学发射光谱 中图分类号：0461．2+1；0433．4文献标识码：A doi：10．3969／j．issn．1672—4305．2013．05．006 of in measurement Spectral analysisgastemperaturemicrocavitydischarge XIA Guang-qin91，WANGDong-xue2 of 1．State of for Structural Industrial (Dalian TechnologyKeyLaboratory University Analysis Equip— of and 11 ment；2．School 6024，China) PhysicsOptoelectronicTechnology，Dalian a of drivenadirect—currentsource Abstract：Microcavitydischarge(MCD)istypemicro—plasmaby to stable at weremeasuredwithe— efficientlygenerateglowplasmahighpressure．Thegastemperatures mission therotationalstructuresofthe first and spectroscopydiagnosisbyanalyzing N2 positiveN；first band withtracesoflittle in added resultsandtheoretical negativesystem nitrogen argon．Experimental