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2015-09-07 发布于湖北
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微观摩擦与表面形貌相关性的试验研究.pdf

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中国机械工程第卷第期年月下半月 ! $##% ) 微观摩擦与表面形貌相关性的试验研究 ! $ ! 董云开刘莹温诗铸 ! ! ! 清华大学摩擦学国家重点实验室!北京! !? !###*( 南昌大学!南昌! $? ))##$ 摘要!针对微机电系统存在的问题!阐述了微摩擦的测试方法以及表面形貌对微机械中摩擦性能的影响!试验研究了表面形貌对介于宏观和微观之间摩擦行为的影响试验用研磨的方法在硅片表面制作了不同宽度的条纹!通过 R1= 微摩擦测试仪研究了在不同速度和载荷下氮化硅陶瓷球和试样间的摩擦行为试验表明!在硅片上制作出合适的条纹有助于降低摩擦系数!在低载低速下出现了测力梁突然释放弹性变形能的情况!使得摩擦力和载荷不稳定! 而且随着表面条纹间距增大!这种现象的频率也越来越高!并通过理论分析解释了这些现象关键词!微机械微摩擦表面形貌弹性变形中图分类号! 文章编号! # $ % # # =A!!’ !##( !)$ $##%# #%($ #( !!! ! YX %-#%$(’/C(* ,$;%/’(#,$9%(%%$7#)-,+-#)(#,$’$*C-2’)%J,,-’3 P 0 PD P 0 ! $ ! YFG ING_4J BJNIJG 82G0EJDEN H ! H! !?03432a2 B45FT43FT F[=TJ5F6F =QJG EN4RGJS2TQJ3 ;2JJG !###*( U U HU H U W H $?-4GXE4G RGJS2TQJ3 -4GXE4G ))##$ H U H ! .91(-’)( ;4Q2ZFG3E22]JQ3JG TF562\QJG110 \24QNT2\2G3\23EFZQF[\JXTF+[TJX3JFG4GZ HO 3E2J\ 4X3QF[QNT[4X23F F T4E FG[TJX3JFG 2T[FT\4GX2JG\JXTF\4XEJG2^2T2T2SJ2^2Z?8J3EQJ\‘ O O H O U O 622] 2TJ\2G3Q 3E2JG[6N2GX2F[QNT[4X23F F T4E FG[TJX3JFG52E4SJFTJG3E2