原子力显微镜图像降噪与平面校正的同步实现.pdfVIP

龚立艳等：原子力显微镜图像降噪与平面校正的同步实现 原子力显微镜图像降噪与平面校正的同步实现① 龚立艳②徐立军③钱建强’ 姚骏恩。 (北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院 北京100083) (’北京航空航天大学理学院北京100083) 摘 要 将小波阈值收缩去噪技术应用于原子力显微镜(AFM)图像去噪的同时，应用最 小二乘拟合法对AFM二维小波分解近似子图像的一次倾斜平面进行校正，从而同步实现 了AFM图像去噪与平面校正。在保证图像去噪效果及平面校正质量的前提下，大幅度减 少了最小二乘拟合计算量，提高了算法实时性能。由于该方法借助于小波变换实现，可以 方便地与图像的小波压缩方法相结合，因此更有利于AFM扫描图像的原位分析与处理。 通过实验，采用上述方法对AFlVl扫描图像进行了降噪与平面校正处理，证明了此方法的 有效性。 关键词 小波变换，原子力显微镜(AIM)，数字图像，噪声，平面，最小二乘拟合 传统的AFM图像处理都是非实时处理，对处理 0 引言 速度的要求并不高。但在太空环境下，一方面要求 快速的原位测量及实时的图像处理；另一方面，处理 force 原子力显微镜(atomic microscope，AFM)以 器的资源却是很有限的。这就要求减少算法的运算 其纳米级的分辨率、较小体积、不苛刻的环境要求， 量，提高其实时性能。针对小波分解低频近似子图 成为用途广泛、适于空间搭载和天体现场原位 像进行一次倾斜平面校正【4J，可以极大地减少平面 (in-situ)测量的纳米级显微测试仪器之一【1,23。 校正操作的运算量，节省运算时间。同时，对高频部 AFM扫描出的图像存在各种噪声，需利用图像处理 分进行小波阈值收缩降噪，在保证图像去噪效果及 技术进行处理，以便更真实准确地显示被扫描物体 平面校正质量的同时，节省大量时间，有利于AFM 的形貌信息，利于进一步的分析及测量。实际证明， 扫描图像的实时就位处理及现场测试分析。 AEVl图像噪声可近似看作满足高斯分布的随机噪 声。采用传统去噪方法的AFM图像处理技术完全 1 理论基础 在频率域或者空间域进行，虽然抑制了噪声，却损失 了图像边缘细节信息，致使图像模糊，造成顾此失彼 1．1二进小波变换与小波阈值去噪 的局面。有信号分析数学显微镜之称的小波变换方 二进小波是对连续小波的尺度进行离散化后得 法，由于在时域、频域同时具有良好的局部化性质和 到的一种基函数表示形式。在实际应用中，小波变 多分辨率分析的特点，能有效地把信号和噪声区别 换最终体现在滤波器对信号的滤波上，可通过两个 开来，在抑制噪声的同时能尽可能地保存图像边缘 互相正交的高通、低通滤波器的递归循环卷积得到。 细节信息引3。由于小波阈值收缩去噪技术主要针对 二维离散小波变换形式如式 高斯分布的噪声，因此可将小波阈值收缩去噪方法 sef(x，Y)= 应用到AFlVl图像处理技术中。此外，通过AFM对