高速高效刀具的表面改性技术.pdfVIP

N T N ～ P 量战略资源 。 可见，此涂层的硬度达fU38GPa 本文就上海工具厂有限公司承担的 “十一五” 科技支撑课题 “高速高效刀具表面改性技术”的研 究内容，取得成果等方面作一介绍。 2研究内容 该课题的 目标为采用PVD、CVD、PCVD技术 研发纳米晶复合涂层、多层涂层、梯度涂层和超厚 涂层在内的新型刀具硬涂层，实现刀具涂层制备技 术和生产装备集成 ，并使之产业化。其内容分为两 5 10 15 部分，一部分为新型涂层工艺研发及性能表征，推 Load(mN) 动涂层工艺的应用 ；另一部分为新型涂层装备研 制，推动涂层工艺和装备集成发展。 图2AITiN涂层微力学探针受载硬度 曲线 2．1涂层工艺研究 一 —3工 课题研 究并成功开发 了包括Ti—si—N、Ti— 一∞ 。一3工 6 4 2 O 8 8 4 B—N 、TiN ／SiNX、TiN ／A lN 、TiN ／CrN 、TiCN ／ 8 6 4 2 O 8 6 4 TiN、A1TiN、TiA1CN、TiCN、A1。O等新型涂 层 ，其 中，大部分涂层硬度_30GPa，新型涂层刀 具切削性能高于 目前国内同类水平70％。涂层性 能指标见表1。 表1 涂层品种开发情况 5 10 15 Load(mN) 瞥 ：—_ - 蔑最孤 1 — 【 嗣 图3TiAIN／TN涂层微力学探针受载硬度 曲线 蚴‘ -畦飘i疆■ AlCrN PVD 35 柱状晶 800 TiAlCN PVD 28．2l 柱状 晶 500 图4表示TiA1CN与TiN涂层铣刀在加工中心上 曩CN／TiN PVD 34．56 柱状 晶 400 进行加工的后刀面磨损比较。 AlTiN PVD 38．3 纳米 晶 950 TiACN与TIN涂层铣刀 TiAlN／TiN PVD 38 柱状晶 700 TiN／CrN PVD 27．58 纳米晶 500 TiN／SiNx PECVD 36 柱状晶 l100 ～ ／ Ti．Si-N PCVD 34 柱状晶 l1OO f Ti—B．N PCVD 32 柱状晶 800 f —一 TiCN CVD 37 柱状晶 400 Al203 CVD 37 柱状晶 850 0 50 100 l50 200 2511 300 A1TiN涂层含Al量超过66％，为富铝涂层 ，从 铣 削度 图2可见，其硬度超过37GPa，达fJ~38．3GPa。 图4TiAICN与TiN涂层铣刀后刀面磨损比较 TiA1N／TiN涂层的硬度加载曲线见图3，从图3 54f装 备