一种提高薄膜厚度测量灵敏度的方法.pdfVIP

· 98 · 材 料 开 发 与 应 用 2010年 1O月 文章编号：1003—1545(2010)05~098-04 一 种提高薄膜厚度测量灵敏度的方法 胡秀丽 ，游佰强 ，于海涛 (1．厦门大学信息科学与技术学院，福建 厦门 361005； 2．中国船舶重工集团公司第七二五研究所厦门分部，福建 厦门 361002) 摘 要：针对薄膜材料厚度无损测试技术，提出一种三电极平行板电容传感器薄膜测厚方法。具体采用了三 电极平行板 电容器结构，该电容传感器含有三个相同的几何尺寸是毫米级的平板 电极探头，电极之间的间距 可变。依据电容原理和保角变换方法建立理论模型。通过Fo~ran语言编写算法，将得出的计算结果与传统 方法进行比较。结果表明用此方法检测薄膜厚度变化，不仅继承了传统电容测厚技术具有的结构简单，操作 快捷 ，便于控制 ，低功耗 ，低成本等优点，还大大提高了薄膜厚度检测的灵敏度 。 关键词 ：无损检测；三电极电容模型；保角变换 ；灵敏度 中图分类号：TQ637．2 文献标识码 ：A 随着材料科学与技术的发展，各种薄膜材料 案，应用该方案对薄膜进行厚度检测，灵敏度得 不断涌现，对涂层材料厚度 ，形貌及结构的表征， 到了很大的改善 卜 。 已成为薄膜制备及应用中普遍关心的问题。目 前测量薄膜厚度的方法主要有：扫描 电镜、台阶 1 测量原理 仪和光学法测量。应用扫描电镜方法，薄膜样本 需要切出断面并抛光，很容易引起样件破碎或膜 传统的平行板电容测试模型如图1。 脱落，给测试造成困难。台阶仪需要制备有台阶 的薄膜样本，光学反射波法对材料的透波特性有 特殊要求，以上各类方法误差及实时性都不太 理想。 电容方法具有非破坏性，操作简单，低功耗， 。 霉 ‘ 可控性强等优 点。尤其是 随着微机 电技术 图1 传统电容器模型 (MEMS)和电容传感器技术的发展，应用 电容方 法测量材料厚度越来越普遍。传统的电容测厚 法虽然具有这些其它方法不具备的优点，但总的 现采用三 电极平板检测技术电极结构如图 来说，厚度检测的灵敏度不如光学法等，对于微 2，代替上面的模型。 小厚度的变化 电容值变化微小，灵敏度不高，尤 其对多层膜厚度的测量，就更加困难。寻找一种 既能继承电容测厚法的优点，又能改善测量灵敏 度的测试方案，对材料厚度测量具有重大意义。 图2 三 电极电容器模型 本文采用平行板电容测厚结构，基于电容传 感器的测厚原理，利用保角变换理论和计算机算 以上模型各电极电极宽度为W，长为Z，电极 法，提出一种三电极平行板电容器薄膜测厚方 间距为s，被测介质厚度为h，假设被测填充材料 收稿 日期 ：2010—07—23 第25卷第5期 胡秀丽等：一种提高薄膜厚度测量灵敏度的方法 ·99 · 底面接地。 根据电场分布的对称性可知只需取 平面 的右半面进行分析 ，总电容等于它的两倍。由于 。 ． 一m√／(t—t3)￡2’7 ^、／t3丽(￡2一) 边缘效应的存在不可以用理想电容公式直接求 出。为得到此模型的电容值计算公式，采用保角 变换法去除边缘效应，将其转换为等效