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2005’全国真空冶金与表面工程学术研讨会会议论文集
何氏系数(Hofactor)的定义、表达型式及其应用
杨乃恒
(东北大学)
何增禄先生1932年在美国加利福尼亚工学院 ①从吸气口进来的气体分子进入蒸汽射流的
NormanBridge物理实验室工作期间，在PHYSICS扩散过程：
杂志(1932年5月，p386—395)上发表了名为《Speed，
②进入蒸汽射流内的气体分子，被蒸汽射流携
and ofDifferent
Factor Power
Speed Input
带向排气口侧的输运过程；
ofDiffusionandRemarkson
Design Pump
MeasurementsofSpeed》的研究论文。为了评价 ③气体分子从前级侧，通过射流向吸气口的反
扩散泵各种喷嘴结构的抽气效率，他在论文中首先 扩散过程。
提出“速度系数”的概念，后来被一些书籍和文献
为了评价扩散泵的工作性能，①，②过程中气
大量引用，为了纪念他的贡献，将它称为“何氏系
体分子扩散进入后被输运要充分，而③过程气体的
数”，以Ho或Xo(俄文)表示。在S．Dushman：
反扩散要尽量小是必要的。
ScientiSicFoundationofVacuum
Technique
(1949)中有详细的历史记述。由气体分子运动论 气体分子因本身的热运动进入面积A，由于气
得知，每秒打在表面A上的气体分子的体积： 体分压强之差，气体扩散进入到由喷嘴喷出的蒸汽
射流中，被定向(向下)的蒸汽流带走，而非定向
(向上)的蒸汽流能将部分气体分子打回到高真空
、 。
、
4
矿=詈爿=14(堕7rM拯点2nM尚
侧。喷嘴喷出的气流方向以向下占优势(如图1[41所
示)。
式中R一气体常数：T一气体温度(K)；M一气体的
分子量。
单位时间内，被蒸汽流从抽气面积A带走的气
体的分子数目z为：
此v值为扩散泵抽气面积A(Cm：)上理想的
1
z=二NQ．Aa (4)
最大抽速，对于20 4
oc空气，得V=11．7A(1／sec)。
式中N和Q分别为气体分子密度和平均热运动速
何增禄先生定义“速度系数”为扩散泵实际抽
速S与理想的最大抽速之比川，即
亿2爵S(盖)2彳 (2)
对于20oC的空气，则为
亿=高㈤，
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