溶胶-凝胶法制备ITO薄膜研究进展.pdfVIP

第15卷第2期 材料科学与工艺 VoLl5No．2 2007年4月 Apr．，2007 MATERIALSSCIENCETECHNOLOGY 溶胶一凝胶法制备ITO薄膜研究进展 张学骜，吴文健，满亚辉，刘长利 摘 膜工艺做了简要介绍，重点讨论了Sol—Gel法制备ITO薄膜的溶胶体系，分析比较了有机醇盐、无机盐以及 掺入ITO粉末方法体系的优缺点，最后讨论了甩膜法、提拉法及平铺法在Sol—Gel法制备ITO薄膜中镀膜的 应用．指出Sol—Gel法是一种高效可行的制备ITO薄膜的方法，有着广阔的应用前景． 关键词：溶胶一凝胶法；ITO薄膜；制备；工艺；应用 文献标识码：A 文章编号：1005—0299(2007)02—0264—05 中图分类号：TQ427；TGl56 in ofITOthinfilmsSol-Gel preparation by process Progress ZHANG Xue—ao，WUWen-jian，MANYa—hui，LIUChang—li of andMaterial ofDefenee (CollegeAerospace Engineering，NationalUniversity Technology， 63．com) Changsha410073．China，E—mail：zhangxueao@1 in ofITOthinfilmsSol—Gel wasreviewed．The Abstract：Recent progresspreparation by process technologi- cal in ofITOthinfilmsSol—Gel wasdiscussed processpreparation by process briefly．Especially，thesystems ofsolin ofITOthinfilmsSol—Gel therelativemeritsofthe ofsolabout preparation by process．and systems saltandthesol ITO werediscussed．At organicalkoxide，inorganic includingpowder last，spincoating and werediscussed．ItwasbelievedthattheSol—Gel process，dipcoatingprocesslayeringprocess process wasamoreefficientandviablein ofITOthin hadwide waypreparation films，whichpotentialapplication． Keywords：Sol—Gel thin Process；ITOfilms；preparation；technologicalprocess；application 掺sn的In：O，薄膜(ITO薄膜)是一