直接感光法制备钛酸锶钡图形化薄膜及其性能研究.pdfVIP

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2015-09-11 发布于湖北
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直接感光法制备钛酸锶钡图形化薄膜及其性能研究.pdf

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直接感光法制备钛酸锶钡图形化薄膜及其性能研究.pdf

第23卷第5期无机材料学报 Vbl．23．NO．5 Journalof Materials 2008年9月 Inorganic Sep．，2008 文章编号：1000—324X(2008)05—0886—05 直接感光法制备钛酸锶钡图形化薄膜及其性能研究张卫华，袁媛，石春梅，赵高扬 (西安理工大学材料科学与工程学院，西安710048) 摘要：采用改进的化学修饰的溶胶．凝胶工艺，以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为薄膜开裂抑制剂，以乙酰丙酮为化学修饰剂，利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性，制备了具有紫外光感光特性的钛酸锶钡 (Bao．8Sro．2T103)前驱溶胶及其凝胶薄膜；结合直接感光法，首先制备图形化凝胶薄膜，再通过后续热处理，介电常数约为600，介电损耗约为0．03．关键词tBST薄膜；感光性；微细图形；溶胶．凝胶工艺中图分类号：TNl04，TN305文献标识码t A BSTPatternedFilms Direct Process Preparedby Patterning andTheir Properties ZHANG Yuan，SHIChun-Mei，ZHAO Wei—Hua，YUAN Gao-Yang ofMaterialScienceand of (TheFaculty Engineering，Xi’anUniversityTechnology，Xi’an710048，China) Abstract：Theultraviolet and filmswere lightphotosensitive gel prepared Bao．sSr0．2Ti03(BST)sol chemicalmodificationandmodified with crack- byusing sol—gelprocess modifierwhichcanassociatemetal—salt chemical suppressingagent，andacetylacetone(AcAcH)asagent toformcoordinationchelate．TheBST filmswere direct patternedgel preparedby patterningprocess． ThentheBST filmswith structureon substratewereobtained patterned perovskite Pt／Ti02／Si02／Si after heattreatment．ThethicknessoftheBST filmisabout dielectric subsequent patterned 793nm，the constant