硬脂酸钠薄膜的制备及应用.pdfVIP

! 第# 卷! 第$ 期 强 激 光 与 粒 子 束 %’( # ，)( $! ! *++, *++,! 年$ 月 -./- 01234 56734 6)8 0649.:53 ;367 =( ， 文章编号：! ++?@$** （*++, ）+$?+@*?+@ 硬脂酸钠薄膜的制备及应用! 曹! 鸿，! 吴永刚，! 张! 莉，! 焦宏飞，! 付联效，! 彭东功，! 郑秀萍 （同济大学精密光学工程技术研究所，上海*+++#* ） ! ! 摘! 要：! 利用真空热蒸发的方法制备了厚度为+( *A B +( @+ !C 的硬脂酸钠薄膜，并用光学显微镜和傅里 叶红外光谱仪对硬脂酸钠薄膜进行了观察和分析，发现硬脂酸钠薄膜的红外光谱和固体的光谱具有相似性。 在空气环境中硬脂酸钠薄膜不易潮解，在选择的无水脱膜溶液中，容易脱出无明显针孔的自支撑6’ 膜。用俄 歇电子能谱测试，未发现脱出的6’ 膜上有残留的硬脂酸钠脱膜剂。 ! ! 关键词：! 硬脂酸钠；! 脱膜剂；! 真空热蒸发；! 薄膜制备；! 傅里叶红外光谱 ! ! 中图分类号：! 1@$@( @! ! ! ! 文献标识码：! 6 ! ! D 射线激光应用实验中等离子体电子密度的观察、短波长天文望远镜等都需要相应于这些波段的自支撑 薄膜滤光片等光学元件。这种滤光片的通常制作方法是在平整光滑的衬底（如抛光的硅片，抛光玻璃等）上先 镀制一层脱膜剂，再用物理或化学方法沉积上一层薄膜滤光片材料，然后在脱膜剂溶液中融化脱膜剂，将滤光 片薄膜材料转移到相应的支架上即可制备出所需要的滤光薄膜。其中脱膜剂是研制自支撑滤光薄膜所不可缺 少的，它直接影响到制备薄膜的质量。 ! ! 以往所用的脱膜剂（例如)=:’ 和:E. ）多极易潮解，对存储环境有严格的要求，易于给镀在脱膜剂上的薄 膜带来缺陷，例如针孔。7=FG 等人［］研究发现，饱和脂肪酸和它们的盐在金属和电介质基片上，真空沉积薄膜 外延生长具有可能性。并且硬脂酸钠的熔点为++ B + H ，在真空蒸发时，需加的电压不高，便于蒸发。因 此，硬脂酸钠是一种很容易制备成薄膜的物质。;==I 等人［* ］在对真空沉积的硬脂酸薄膜进行傅里叶红外光 谱研究时发现，硬脂酸钠薄膜微溶于水，能迅速溶于某种无水溶液。本文研究了硬脂酸钠作为脱膜剂的应用， 研究了薄膜的红外光谱特性；在硬脂酸钠薄膜上沉积制备金属滤光膜，研究了脱膜工艺过程，并分析了滤光膜 中的杂质含量。 ! 实验介绍 ! ! 真空沉积方法用于有机薄膜的制备已有研究报道 ［，$ ］。例 如饱和脂肪酸和它们的盐在金属和电介质基片上真空沉积薄膜 的外延生长［］、一些两性有机化合物蒸发薄膜的结构和取向与 5; 薄膜的比较［@ ］、蒸发薄膜相位转换和基片类型对薄膜的影响 等［S ］。研究发现，真空蒸发方法制备有机薄膜是可行的。 ! ! 真空蒸发沉积薄膜具有简单便利、操作容易、成膜速度快、 效率高等特点，是薄膜制备中最常用的技术。在真空蒸发技术 中，只需要产生一个真空环境。在此环境中，给待蒸发物提供足 够的热量以获得蒸发所必需的蒸气压。在适当的温度下，蒸发 粒子在基片上凝结，即可实现真空蒸发薄膜沉积。许多材料皆 JFK( ! 7LMNC=GFL O P=LQQC LM=CRN 可以在真空中蒸发，最终在基片上凝结以形成薄膜。真空蒸发 图! 真空蒸发室示意图 沉积过程为：（ ）蒸发源材料由凝聚相转变成气相；（* ）在蒸发源与基片之间蒸发粒子的输运；（$ ）蒸发粒子到 达基片后凝结、成核、长大、成膜。 ! ! 在本实验中，我们在室温下用电阻加热的方法提供蒸发热，蒸发硬脂酸钠时，真空室内的本底真空度约为 $T + U $ 0= ，用钼作蒸发舟，石英晶体振荡器监控薄膜质量厚度的变化，蒸发速率为* B +IC V CFI 。蒸发时，钼 ! 收稿日期：*++W?+#?*S ；! ! 修订日期：*++W?+$?+# 基金项目：国家自然科学基金委? 中国工程物理研究院联合资助课题（+S,W+* ）