PDMS表面形貌调控AuPDMS褶皱图案的实验.pdf

第 卷 增刊 华 中 科 技 大 学 学 报 自然科学版 35 I Vol.35 Su .p I 年 月 Z007 3 J. ~uazhon Univ. of Sci. Tech. Nature Science Edition Mar. Z007 g 表面形貌调控 PDMS Au PDMS 褶皱图案的实验 赵小力 梁迎春 董 申 孙 涛 !哈尔滨工业大学 精密工程研究所黑龙江 哈尔滨 150001# 摘要!采用超精密车削技术来调控 双层结构形成规则有序的锯齿状褶皱图案 以超精密车削技术 Au PDMS . 在铝合金样品表面上加工的条纹图形 经复制模铸得到了聚二甲基硅氧烷 基底表面上的反相结构 PDMS . 用离子溅射方法在 基底表面沉积一层 厚的 膜 在冷却过程中 褶皱图案与基 PDMS Z0 50nm Au Au PDMS ~ 底形貌相互作用 从而成功地调控出规则有序 波长可控的锯齿状褶皱图案 经实验分析 基底形貌与 . PDMS 褶皱图案之间的耦合作用是形成锯齿状褶皱的主要原因. 关 键 词!超精密车削技术 聚二甲基硅氧烷 锯齿状褶皱 耦合 中图分类号! 文献标识码! 文章编号! TN305.9Z A 1671-451Z Z007 S1-0101-03 Ex erimental stud of modulation in Au PDMswrinkle p y patternsb relief surfacesin PDMssubstratesy Zhao xiaoli Lian Yin chun Don Shen SunTao g g g