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低成本太阳电池硅片电磁悬浮熔炼离心铸造技术 张军，崔春娟，傅恒志 （西北工业大学凝固技术国家重点实验室，西安710072 ） 摘 要：电磁悬浮熔炼离心铸造技术是以离心铸造为基础，以无坩埚熔炼为主要特征的一种新型的低成本太阳电 池多晶硅片制造技术。它成功地运用了半导体硅电磁约束感应熔炼和石墨铸模表面复合梯度涂层相接合的抗污染 技术，解决了硅片制备过程中熔炼坩埚和成形模具对硅片的污染问题；创造性地发展了液态成形和定向凝固相接 合的硅片离心铸造工艺，克服了传统技术存在切片损耗的缺点，并且为硅片凝固组织的控制提供了条件。采用该 技术制得的硅片具有垂直于表面排列的定向凝固柱晶组织，晶粒平均直径0.5mm ，最大直径1.5mm，有利于保证 获得较高的光电转换效率。这一技术的研究和发展为制备低成本高性能太阳电池硅片开辟了一条新的途径，本文 首次全面介绍该技术的主要研究成果。 关键词：低成本；太阳电池；多晶硅片，电磁悬浮熔炼；离心铸造 中图分类号： 文献标识码：A 0. 引言 ELCC 技术是以立式离心铸造技术为基础，引入 太阳能是人类永久、清洁和安全的能源，以太 电磁悬浮熔炼、薄壁铸造成形以及定向凝固等多种 阳电池为核心的光伏发电技术是人类彻底摆脱日 先进技术而发展起来的一种新型的低成本太阳电 益严重的能源危机和生态危机的重要手段之一。近 年来，太阳电池的研究和生产进入了一个新的飞速 硅料清洗 发展阶段，200 1 年全球太阳电池市场已达 [1] 381MW 。 或 长期以来，太阳电池研究和发展的主要方向是 定量给料 模具型腔涂层 提高光电转换效率、降低制造成本和扩大生产和使 用规模，其中低成本太阳能级硅材料制备技术一直 都是国际光伏界研究的热点。低成本太阳能级硅材 悬浮熔炼 装炉预热 模具清理 料制备技术大致可分为以下三类：（1）采用非常规 提纯技术制得低成本精制冶金硅作为太阳能级硅 材料晶体生长的原材料，或者直接采用精制冶金硅 定量浇注 旋转 制成太阳电池硅片，通过改进后续的电池制备技术 来保证电池的性能[2] 。这类技术主要包括冶金法和 和化学法两大类。（2 ）有别于传统的直拉法和区熔 液态成形 法的多种新型硅锭制备技术，主要有定向凝固法[3]、 [4] [5] 浇铸法 以及电磁连铸 等，辅以新型高效低耗切 片技术，最大限度地提高材料生产率和利用率。 定向凝固 （3 ）彻底抛弃切片工序，直接制备太阳电池硅片 的太阳电池硅片（带、膜）技术[1] 。 离心铸造是在离心力作用下实现铸件成形和 冷却脱模 凝固的一种重要的铸造技术，广泛应用于多种金属 铸件的生产。1980 年代Maeda 等人[6]首次将离心铸 造技术移植到低成本太阳电池多晶硅片的成形工 硅片后处理 艺上。1990 年代西北工业大学凝固技术国家重点实 验室开展了低成本太阳电池硅片电磁悬浮熔炼离 [7, 8] 心铸造技术（ELCC ）技术的研究 ，为制备低成 本高性能太阳电池硅片开辟了一条新的途径，本文 图1 低成本太阳电池硅片电磁悬浮熔炼离心铸造工 艺流程 首次全面介绍该技术的主要研究成果。 Fig. 1 Processing flow diagram of ELCC technolog