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多功能电真空实验装置设计 ’段献学朱武 (合肥工业大学机械与汽车工程学院，安徽合肥230009) 摘要：实验教学在高等教育中占有重要的地位和作用。针对真空专业的教学实验问题，设计了一套多 功能电真空实验装置。该装置结构简单，操作方便，实验过程和结果易于观察，用较少的投资就能完成十个 以上的真空实验。这些实验不仅涵盖了与真空技术有关的基础实验，而且还包涵了真空应用方面的提高实验， 为真空专业以及相近专业提供了一个良好的实验平台。 关键词：多功能i真空；实验装置· 中图分类号：TB77 The ofaMulti-functionElectrovacuumInstallation Design Experimental Duan Wu XJan-xue，Zhu (SchoolofMechanicalandAutomobile 230009，China) Engineering，HefeiUniversityofTechnology，Hefei all roleinthe and atthe in Abstract：Experimentplaysimportant processofteachingresearching．Aimingproblems the ofvacuum isaboutamulti·functionelectrovacuuminstallationthatis teaching major，thepaper experimental in in inresult stmcture，convenient afewresources，this simple operation，easytesting．With experimental only installationCan overtenvacuum thefundamentalonesofvacuum andthe perform experimentsincluding technique enhancedonesofvacuum aswelt，thusitCan a forvacuumand application providegoodexperimentalplatform related majors． words：the and installationvacuum z Key processofteachingresearching．experimentalexperiment 1引言 半个多世纪以来，真空技术的飞跃发展为当代科学和工业生产做出了不可估量的贡献： 粒子加速器、半导体和集成电路、电视、真空冶金、可控核聚变、航天科技、真空镀膜、表 面科学等重大科技领域都离不开真空【1】。，从教学和科研的观点来看，目前，真空技术已是实 验物理中的一个重要分支。如何利用有限的实验资源，使本专业以及相近专业的学生都能对 真空技术有一定的掌握和了解，是值得研究的重要课题。 通常情况下，不同的实验需购置或自制不同的实验设备，这就必然存在成本高、利用率 低等问题。为此，设计了“多功能电真空实验装置”，力求用较少的投资，在一套实验设备上 就可以完成一系