原子力显微术轻敲模式中探针样品接触过程及相位衬度研究.pdfVIP

第53卷第4期2004年4月 物 理 学 报 1000．329012004／53(04)／1008．07ACTAPHYSICASINICA @2004 Chin．Phys．Soc． 原子力显微术轻敲模式中探针样品 接触过程及相位衬度研究* 王晓平1’2’ 刘 磊2’ 胡海龙2’ 张 琨2’ ¨(中国科学技术大学物理系，合肥 230026) 2’(中国科学技术大学结构分析实验室，合肥230026)O牛 A J (2003年4月25日收到；2003年11月3日收到修改稿) 借助简单的有阻尼受迫振子模型，研究了原子力显微术轻敲模式中探针与样品接触时间t。、样品的表面形变D： 和相位衬度对探针设置高度：，及样品杨氏模量E。的依赖关系．结果发现，t。与眈均随E。及；。的增大而减小，同 时探针与样品作用过程伴随很小的能量耗散．对轻敲过程中相移量妒的研究表明，E。较大的样品有较小的驴，且≯ 随=，的变化比E。较小的样品明显．实验观察表明本模型及其计算结果可以较好地解释相位像中的相位衬度． 关键词：原子力显微术，轻敲模式，相位衬度 PACC：0779．6116P，6120J 有关形貌特征的确认提供根据，而且还包含了形貌 1．引 言 像所不能提供的更多信息…。引．由于相位像起源的 复杂性，对实验中获取的相位像的解释就略显困 原子力显微术(AFM)在材料结构与性能的表征难，所以对相位像的起源及其衬度的研究是十分重 方面具有十分广泛的应用¨-81．AFM最常见的工作要的． 模式有接触和轻敲两种．前者是指探针在扫描过程 事实上，相位衬度的来源涉及AFM探针与样品 中始终保持与样品的接触．后者则是以大约几十千 相互作用及作用过程中的能量耗散．近年来，国际上 赫兹的频率(接近探针悬臂的本征振动频率)驱动悬 已有许多对于AFM轻敲模式中相关基础问题的探 臂，使探针间歇地接触样品表面，从而可以明显减少 索．例如：Gotsmann等¨3’“1研究了探针样品作用体系 接触模式中横向力对样品表面的损伤，同时保证轻 中保守力和耗散力的力谱，并从理论上计算了频率 敲模式仍具有很高的分辨率’91． 移动和平均功率；Gauthier等¨副提出了一个比较简 轻敲模式采集的图像主要有形貌像和相位像． 化的样品探针接触模型，并在此基础上对体系的能 轻敲模式在扫描时通过反馈系统保持探针微悬臂的 振幅一定，因此可以探测样品表面的起伏如台阶等 量共振频率随振幅的变化研究探针与样品相互作用 特征，这就是形貌(衬度)像的来源．微悬臂作为一个 有阻尼的受迫振子，其相位相对驱动信号的相位有 的关系，其结果与实验观察较好地相符；Marcus 一移动(相移)，当探针受到不同的作用力时，其相移 等¨副研究了各向异性导致的相位衬度并做了相应 将发生变化，形成相位(衬度)像．由上可见，形貌像 的理论解释；Whangbo等¨列也从实验和理论上讨论 的衬度主要来源于样品表面的高低起伏，而相位像 o着 了设置振幅比与相位之间的关系；Tamayo等旧卜22 的衬度不但依赖样品表面的高低起伏，还依赖样品 重就轻敲模式中的一些重要的物理