扩散真空泵性能自动测量系统地研制.pdfVIP

扩散真空泵性能自动测量系统的研制 梁文升张世伟★张志军徐成海 (东北大学机械工程与自动化学院，辽宁沈阳110004) 摘要：本文介绍了一套新研制的扩散真空泵性能的自动测量系统。该系统可以按照 国家标准规定的方法自动检测扩散真空泵的极限压力和抽速曲线。系统利用自主开发的 光电液位检测方法和元件实现滴管液位的自动读取和记时；利用步进电机驱动针阀实现 气体流量和测试罩内压力的自动调节；使用上位PC机和下位单片机的双级控制系统实 现对整个测量系统和测量过程的自动控制。 关键词：扩散泵；性能测量；设备研制；自动测量系统；抽速曲线； 作为应用最广的高真空抽气设备【11， 1自动测量系统的测量原理 油扩散泵在国内的生产、研究方面已达到 该套测量系统对扩散泵的极限压力和 相当的技术水平和一定的生产规模，被广 不同入口压力下的抽速曲线的测量原理与 泛应用于机械、电子、冶金、原子能、空间 方法，完全参照相关国家标准[41的规定执 模拟等工业领域和科学技术研究中，为我 行。其中扩散泵抽速曲线的自动检测，采用 国的科技发展做出了显著的贡献【2l。近几 “定压法”原理测量。对应每一个测压点的 年来，国内扩散泵产品从外观、功能到性 测量步骤是：在工作阀开启的条件下，利用 能都有了较大的进展”l。 针阀调节充人测试罩的气体流量Q，使测 相对于扩散泵的生产企业数量和生产 试罩内的平衡压力P稳定在预期的压力值 总量来说，国内扩散泵在产品性能检测方 附近；关闭工作阀，依次记录滴管内液柱到 面还相对落后。目前很多企业尚没有自己 达液位高度h1和h2的时间t，和幻；通过 的性能测量系统，对泵产品在出厂前的性 计算液柱净升高度h=h2一hl和上升所需时 能指标缺乏实际检测。国内现有的相关检 间t=(t厂t。)，利用下式求得对应压力下的体 测系统都采用全手动操作方式，对操作人 积流率，即抽速。 员有较高的专业知识和实验技能要求，需 ．p砌 经过专门培训才能胜任此项工作，而且测 6=：=—— p pt 量数据精度受许多人为因素的影响，这些 式中：S一被测真空泵抽气速率，L／s； 都为生产厂家自己独立开展扩散泵性能测 Q一流过泵口的气体流量，Pa·L／s； 量增加了难度。 P-测试罩内规定位置的平衡压力， 针对这一现状，本文研制了一套扩散 Pa； 真空泵性能的自动测量系统。下面将就该 h一滴管内液柱上升净高度，mm； 系统的测量原理、系统的硬件与软件构 t一滴管内液