原子力显微镜实验课.docVIP

原子力显微镜（AFM）实验 实验目的 了解原子力显微镜的构造及工作原理 原子力显微镜的样品制备 原子力显微镜的工作原理及构造 原子力显微镜是以针尖与样品之间的原子之间的范德华力（Van Der Waals Force）作用来呈现样品表面特性,范德华力属于原子级力场作用力, 所以被称为原子力显微镜。其工作原理就是将探针装在一弹性微悬臂的一端，微悬臂的另一端固定，当探针在样品表面扫描时，探针与样品表面原子间的排斥力、吸引力会使得微悬臂轻微变形，这样，微悬臂的轻微变形就可以作为探针和样品间力的直接量度。一束激光经微悬臂的背面反射到光电检测器，可以精确测量微悬臂的微小变形，这样就实现了通过检测样品与探针之间的原子排斥力或吸引力来反映样品表面形貌和其他表面结构。 图1 原子力显微镜构造示意图 在原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM）的系统中，可分成三个部分：力检测部分、位置检测部分、反馈系统如图1所示。各部分主要作用简介如下： 1. 力检测部分：在原子力显微镜（AFM）的系统中，所要检测的力是原子与原子之间的范德华力。所以在本系统中是使用微小悬臂（cantilever）来检测原子之间力的变化量。微悬臂通常由一个一般100~500μm长和大约500nm~5μm厚的硅片或氮