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高温高压固态复分解反应法生长氮化镓的应变性质研究.pdf
第23卷第2期 光散射学报 V01.23No.2
THE 0FLlGHTSCATTERING
2011年6月 JOURNAL Jun.2011
文章编号:1004—5929(2011)02—0133·05
高温高压固态复分解反应法生长氮化镓的应变性质研究
马 瑶1,龚 敏1’,马 欢2,贺端威2
(1.四川大学物理科学与技术学院徽电子技术四川省重点实验室.成都610064,
2.四川大学原子与分子物理研究所.成都610065)
摘要:本文采用高温高压下固态复分解反应法生长氮化镓。用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、激光拉
曼光谱仪对其进行分析.结果表明生成了六角纤锌矿结构的氮化镓晶体.该样品在宏观上受到了张应力
的作用,退火后。宏观的应变状态由张应变向压应变转变l晶体微观应力减小.晶粒尺寸变大,晶体质量变
好。
关键词:氮化镓lX射线衍射I拉曼光谱#应变l应力;退火
中图分类号:657.37 文献标识码:A
A ofStrainStatesofGalliumNitride
Study Prepared
Solid-StateMetathesisReactionUnder
Through High
Pressureand
HighTemperatUre.
MA Duan—wei2
Ya01。GoNGMinl,MAHuan2,HE
(1.Sc^ooZ
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SciP行fP口行d了■a^挖oZogy,Sfc^“口以P,.ovfncP
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10065,CIIli行口)
CIIlP行gd”6
havebeen solid—statemetathesis
Abstract:Gallium through
nitride(GaN)crystalsprepared
reactionunder and e—
highpressurehightemperature.X—raydiffraction(XRD)、Scanning
lectron Raman usedto the
microscopy(SEM)andspectra(Raman)wereanalysecrystals.
Theresultsindicatedthatthe were
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