高温高压固态复分解反应法生长氮化镓的应变性质研究.pdfVIP

高温高压固态复分解反应法生长氮化镓的应变性质研究.pdf

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高温高压固态复分解反应法生长氮化镓的应变性质研究.pdf

第23卷第2期 光散射学报 V01.23No.2 THE 0FLlGHTSCATTERING 2011年6月 JOURNAL Jun.2011 文章编号:1004—5929(2011)02—0133·05 高温高压固态复分解反应法生长氮化镓的应变性质研究 马 瑶1,龚 敏1’,马 欢2,贺端威2 (1.四川大学物理科学与技术学院徽电子技术四川省重点实验室.成都610064, 2.四川大学原子与分子物理研究所.成都610065) 摘要:本文采用高温高压下固态复分解反应法生长氮化镓。用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、激光拉 曼光谱仪对其进行分析.结果表明生成了六角纤锌矿结构的氮化镓晶体.该样品在宏观上受到了张应力 的作用,退火后。宏观的应变状态由张应变向压应变转变l晶体微观应力减小.晶粒尺寸变大,晶体质量变 好。 关键词:氮化镓lX射线衍射I拉曼光谱#应变l应力;退火 中图分类号:657.37 文献标识码:A A ofStrainStatesofGalliumNitride Study Prepared Solid-StateMetathesisReactionUnder Through High Pressureand HighTemperatUre. MA Duan—wei2 Ya01。GoNGMinl,MAHuan2,HE (1.Sc^ooZ o,P^,sff口Z KPyL口6D,.口£o,iyo厂 SciP行fP口行d了■a^挖oZogy,Sfc^“口以P,.ovfncP MicrDPZ已ctrD以fcs 10064,CIIlf竹口, Sfc^“口挖Uhf刁四rsf£y,C,lP行gd“6 2. J扎站ft“£P o,A£o,竹fc口以d^幻Z£cMZ口,.PJIlysfcs,Sfc^“口行U挖f口Prsf£y, 10065,CIIli行口) CIIlP行gd”6 havebeen solid—statemetathesis Abstract:Gallium through nitride(GaN)crystalsprepared reactionunder and e— highpressurehightemperature.X—raydiffraction(XRD)、Scanning lectron Raman usedto the microscopy(SEM)andspectra(Raman)wereanalysecrystals. Theresultsindicatedthatthe were

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