溅镀机常见的故障及排除.docVIP

以下是濺鍍機常見的故障及排除： 故障報警 可能原因 排除建議 PA not in 0(/180( position 1。0(/180(感應器調整不良或損壞 2。PA手臂offset位置不准 1。檢查，調整或更換感應器 2。較准(Teach)PA驅動器 PA：lift sensor error at handling side 1。PA手掌氣缸損壞 2。PA氣缸感應器調整不良或損壞 3。碟片卡住 1。更換氣缸 2。檢查，調整或更換感應器 3。拿走碟片，手動操作檢查氣缸動作 PA：lift not up at handling side 1。 PA氣缸感應器調整不良或損壞 2。壓縮風沒供應或壓力不足 3。電磁閥損壞 1。檢查，調整或更換感應器 2。檢查壓縮風供應 3。檢查或更換電磁閥 PA：lift not down at handling side 1。 PA氣缸感應器調整不良或損壞 2。壓縮風沒供應或壓力不足 3。電磁閥損壞 1。檢查，調整或更換感應器 2。檢查壓縮風供應 3。檢查或更換電磁閥 PA：lift not up at load lock side 1。 PA氣缸感應器調整不良或損壞 2。壓縮風沒供應或壓力不足 3。電磁閥損壞 1。檢查，調整或更換感應器 2。檢查壓縮風供應 3。檢查或更換電磁閥 PA：lift not down at load lock side 1。 PA氣缸感應器調整不良或損壞 2。壓縮風沒供應或壓力不足 3。電磁閥損壞 1。檢查，調整或更換感應器 2。檢查壓縮風供應 3。檢查或更換電磁閥 PA handling side：disk not loaded 1。吸盤損壞或弄髒 2。吸碟感應器沒調好或損壞 3。沒有碟片 4。吸碟真空管路不緊 5。吸碟真空幫沒油或故障 1。檢查，清潔或更換吸盤 2。檢查，調較或更換感應器 3。重放碟片 4。檢查真空管路洩漏 5。檢查真空幫 PA handling side：disk not unloaded 1。吸盤損壞或弄髒 2。吸碟感應器沒調好或損壞 3。沒有碟片 4。吸碟真空管路不緊 5。吸碟真空幫沒油或故障 1。檢查，清潔或更換吸盤 2。檢查，調較或更換感應器 3。重放碟片 4。檢查真空管路洩漏 5。檢查真空幫 Disk lost at handling side 1。吸盤損壞或弄髒 2。吸碟感應器沒調好或損壞 3。沒有碟片 4。吸碟真空管路不緊 5。吸碟真空幫沒油或故障 1。檢查，清潔或更換吸盤 2。檢查，調較或更換感應器 3。重放碟片 4。檢查真空管路洩漏 5。檢查真空幫 Disk lost at load lock side 1。吸盤損壞或弄髒 2。吸碟感應器沒調好或損壞 3。沒有碟片 4。吸碟真空管路不緊 5。吸碟真空幫沒油或故障 1。檢查，清潔或更換吸盤 2。檢查，調較或更換感應器 3。重放碟片 4。檢查真空管路洩漏 5。檢查真空幫 Error I/O address PLC信號輸入/出模組故障 更換模組 Power supply：start-up not ok 1。輸入電源開關沒開 2。PLC及AE濺鍍電源之間的通訊沒起動 3。PROFIBUS電纜故障 4。PROFIBUS電纜終端設定錯誤 1。檢查電源開關 2。選擇PUMP，再選擇PROD模式 3。檢查電纜及接頭 4。檢查終端設定 PS：time out data receive 1。AE濺鍍電源沒確定資料接收 2。PLC與AE濺鍍電源連接中斷 3。PROFIBUS通訊中斷 1。打開AE濺鍍電源輸出開關 2。檢查PROFIBUS電纜 3。檢查PLC上BUSF指示燈  故障報警 可能原因 排除建議 Cathode short circuit 1。濺鍍物料從mask或靶材掉進電極中間 2。AE濺鍍電源故障 1。清理濺鍍源 2。更換AE濺鍍電源 Plasma voltage too low 1。氬氣供應不穩定 2。氬氣流量過高 3。系統真空洩漏 1。檢查氬氣供應 2。調節氬氣流量 3。真空檢漏 Plasma voltage too high 1。氬氣供應不穩定 2。氬氣流量過低 3。系統真空洩漏 1。檢查氬氣供應 2。調節氬氣流量 3。真空檢漏並排除 Pinnacle：output enable missing AE濺鍍電源上高電壓輸出沒促發 檢查AE濺鍍電源上OUTPUT指示燈(在輸出時必須亮) Pinnacle：Joules not reached 1。系統洩漏(空氣或水) 2。Mask沒放好 3。靶材用完 4。氬器流量太高或太低 1。檢漏並排除 2。檢查mask 3。更換靶材 4。調節氬氣流量 Arc alarm 1。濺鍍物料從mask或靶材掉進電極中