BaTiO3铁电薄膜的光致发光研究.pdf

彭静等：BaTiOa铁电薄膜的光致发光研究 BaTi03铁电薄膜的光致发光研究。 彭 静1”，付勇华2一，徐智谋2’3，欧阳逸冰2”，陈志伟2”，王双保2”，陈存华5 5．华中师范大学化学学院，湖北武汉430079) 摘要： 以分析纯的乙酸钡和钛酸正四丁酯为前躯 2试验 体溶液，冰乙酸为溶剂，乙酰丙酮为稳定荆，采用溶J吱． 凝胶法在硅基上制备了钛酸钡(BaTi03)铁电薄膜。BaTi03铁电薄膜的制备工艺流程如图1所示。 研究了BaTiOs铁电薄膜的光致发光性能。结果表首先精确称取一定摩尔量的分析纯乙酸钡放人适量的 明，室温下非晶态的BaTi03铁电薄膜在蓝光激发下冰乙酸中，在磁力搅拌器上搅拌直至乙酸钡完全溶解， 具有很强的光致发光现象。其中，经8h673K退火处再加入一定量的乙酰丙酮作为稳定剂，使溶液螯合均 理的非晶BaTi03铁电薄膜的光致发光性能最佳，当匀。然后按照乙酸钡与钛酸正四丁酯的摩尔比为1。 455nm光激发时，非晶薄膜在540～660nm内发出强1的比例，精确量取一定量的钛酸正四丁酯放人上面 烈的黄光，峰值波长为580～610nm，峰宽约30rim，发所配的溶液中，搅拌直至溶液混合均匀。最后加入一 光强度随薄膜的厚度增加而增强。晶态BaTi03铁电定量的冰乙酸稀释，得到稳定的BaTiOa透明溶胶。 薄膜无任何发光现象。 关键词：BaTi03；铁电薄膜；光致发光 中图分类号：0734．3 文献标识码：A 文章编号：1001-9731(2009)10-1609—03 1 引 言 铁电薄膜具有良好的铁电性、压电性、热释电性、 电光及非线性光学特性等，可广泛应用于微电子学、光 电子学、集成光学和微电子机械系统等领域，一直是高 新技术研究的前沿和热点之一。从大量发表的论 文[1川]中可以看出，人们对铁电薄膜的研究主要集中 在电性能方面，而在集成光学性能，尤其是发光行为方 面的研究报导较少[4-s]。2006年我们报道了金属有机 图l BaTio。铁电薄膜制备工艺流程示意图 物分解法制备的非晶铁电薄膜(Bao．，Sro．。)Tioa的光 1 Schematicof ferroelectriefilm Fig BaTi03 prepara。 学性能[5]。2000～2006年巴西在各项政府基金的支 tion 助下，研究员F．M．Pontes／引、D．M．A．MelOC刀及P． 以单晶硅片作基底，用丙酮和去离子水在超声波 S．Pizani[83分别报导了非晶铁电材料如SrTi03薄膜、 清洗机中反复清洗，烘干待用。将制备好的BaTiOa 掺杂Cr的(Ba。Srl一，)Ti03(BST)和Pb(Zr，Ti)Os 溶胶滴在硅基抛光面上，再匀胶、烘干成膜，重复几次。 (PZT)粉末等室温光致发光现象。 本文以BaTiO。铁电薄膜为研究对象，采用分析然后根据需要在不同温度下进行退火，最后得到稳定 的BaTiO。铁电薄膜。 纯的乙酸钡[Ba(CH。COO)2]和钛酸正四丁酯[-Ti (GH。O)．]为前躯体溶液，冰乙酸[CH。COOH]为溶 3结果与讨论 剂，乙酰丙酮[CH。COCH。COCH。]为稳定剂，使用溶 胶一凝胶法在硅基上制备BaTiOs铁电薄膜，详细研究 采用荷兰帕纳科公司生产的X射线衍射仪(X’ 其光致发光性能。 Pert 项目(2007ABA058) 收到初稿日期：2009-04-27 收到修改稿日