二氧化硅亚波长纳米微结构的增透特性.pdfVIP

第22卷第9期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．22，No．9 2010年9月 HIGHPOWERLASERANDPARTICLEBEAMS Sep．，2010 文章编号： 1001—4322(2010)09—1987一04 二氧化硅亚波长纳米微结构的增透特性。 叶 鑫， 蒋晓东， 肖 磊， 罗 炫， 方 瑜， 张庆军， 易 早， 吴卫东， 唐永建 (中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳621900) 摘要：对亚波长纳米微结构一非紧密堆积多晶胶体晶体光学薄膜的增透特性进行了研究。采用浸溃一 提拉法在玻璃表面组装了亚波长纳米微结构，并利用等效介质理论分析其光学性质，理论和实验符合。研究表 明实验制备的纳米微结构具有优异的增透性质，通过控制组装条件可以控制膜层厚度实现高增透效率从可见 光到近红外的有效调谐，且微结构在玻璃基底上的等效折射率接近1．22，透射率最大能提高约7％，达到 99．8％的增透效果。 关键词：增透膜； 亚波长纳米微结构； 等效介质理论； 胶体晶体； 浸渍一提拉法 中图分类号：0436 文献标志码： A doi：10．3788／HPLP1987 光学元件的增透在降低光束传输过程中的能量损失，减小反射光对光束质量的影响中起重要的作用。目 前常用的光学增透膜主要为介质膜和化学膜，但介质膜损伤阈值低，化学膜稳定性不好[1_5]。亚波长微结构作 为一种纯相位衍射光学元件，具有很高的衍射效率而获得广泛的关注[6。1¨。制备亚波长纳米微结构常用的方 法是照相平版印刷术，但是这种方法受到光学衍射极限的限制，当亚波长微结构特征尺寸小于波长的1／2时， 照相平版印刷术受到限制。利用深紫外曝光或电子束曝光虽然能制备亚波长纳米微结构，但造价高且制备周 期长，限制了它的应用[1引。近年来，有研究者提出一种利用nm量级胶体粒子组装的单层胶体晶体纳米结构 作为减反射光学薄膜，这种方法由于制备简单，造价低廉而受到广泛的关注[1引。高折射率材料所具有的高反 射系数导致光学系统中能量不必要的损失，而这种多层非紧密堆积多晶胶体晶体纳米微结构由纳米尺度的特 征尺寸的基体材料和空气组成，依据等效介质理论(EMT)可以得到低折射率材料。在此基础上，本文提出利 用多层二氧化硅非紧密堆积多晶胶体晶体结构作为光学薄膜，并从等效介质理论出发分析了亚波长纳米微结 构的折射率分布、光学减反射特性。 l 实验部分 1．1试剂与仪器 5012恒温水浴；CQ2502超声波分散机；GL220G2 光度计。 1．2纳米SiO：微球合成 将一定量的二次蒸馏水和浓氨水倒入三口烧瓶中，在55℃下机械搅拌5 口烧瓶中搅拌4h后二次加料，反应10h后获得SiO。颗粒分散液。调节TEOS／水／氨水间的比例，可得到不 同粒径的SiO：颗粒分散液，本文制备的二氧化硅微球中心粒径90rim，粒径分布的标准偏差为10％。 1．3提拉法制备多层非紧密堆积多晶胶体晶体 实验中选用普通载玻片和K9玻璃做衬底，亲水性处理方法如下：首先用去离子水超声清洗0．5h以上，然 后用双氧水和浓硫酸混合溶液iV(HzOz)：V(HzSO。)=1：3)浸泡24h以上，最后用大量去离子水冲洗，将 冲洗完成的基片浸泡于酒精中备用，组装前用氮气吹干即可。 多层非紧密堆积多晶胶体晶体制备的实验过程如下：首先，单分散性二氧化硅胶体微球以一定的浓度超声 *收稿日期：2009—08—20；修订日期：2010-02—25 基金项目：国家自然科学基金项目 作者简介：叶鑫(1983一)，男，四川绵阳人。硕士研究生。主要从事高功率光学材料的研究lyehanwitl@mail．ustc．edu．cn。 通信作者：蒋晓东，yehattwin@mail．ustc．edu．CO．。 万方数据 1988 强 激 光 与 粒 子 柬 第22卷 分散到酒精中；然后将亲水处理、氮气吹干的玻璃基片缓慢浸入到胶体乳液中去；待基片稳定后，以一稳定的速 度提拉基片直至离开胶体乳液。实验温度(23±3)℃，湿度(3015)％。 2结果与讨论 2．1非紧密堆积多晶胶体晶体的结构