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以多晶硅线切割废料为主要原料制备碳化硅陶瓷的研究.pdf

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以多晶硅线切割废料为主要原料制备碳化硅陶瓷的研究.pdf

第34卷第1期 《陶瓷学报》 V01.34.No.1 2013年3月 JOURNALOFCERAMICS Mair.2013 文章编号:1000-2278(2013)01--0061-05 以多晶硅线切割废料为主要原料制备碳化硅陶瓷的研究 周健儿 冯勇 肖卓豪 (景德镇陶瓷学院材料科学与工程学院,江西景德镇333403) 摘要 以多晶硅线切割废料为主要原料、添加适量碳化硅粉,经1420℃真空烧制获得了碳化硅陶瓷材料。研究了碳化硅粉加入量对 碳化硅陶瓷制品体积密度、气孔率和抗折强度等性能的影响。研究结果表明:随碳化硅粉添加量的增加,材料的气孔率逐渐增大、 体积密度和抗折强度则呈现先增大后变小的趋势;当碳化硅粉的加入量为10wt%时,试样的体积密度达到最大值2.259,cm3,抗折 强度达到最大值99.8MPa。 关键词碳化硅陶瓷;多晶硅废料;气孔率;抗折强度 中圈分类号:TQl74.75文献标识码:A 硅陶瓷的生产成本,另一方面也为多晶硅线切割废料 0引言 的再利用提供新的研究思路。 1实验过程 随着国际社会对太阳能光伏产业投入的不断增 加,太阳能用多晶硅生产进入了高速发展时期。数据 表明近几年来全球太阳能级多晶硅每年以40%~50% 1.1实验原料 的增长率迅猛发展酬。我国是太阳能光伏产业发展最 试验原料主要为多晶硅线切割废料、碳化硅粉料 以及酚醛树脂等。其中碳化硅粉料(325目)与酚醛树 快的国家之一,据统计在2007—2009年间共有17个 省市规划了35个大型多晶硅项目,初步统计产能已 脂均为工业一级原料,多晶硅切割废料由江西威富尔 新能源科技有限公司提供。切割废料的扫描电子显微 超过5.5万吨,预计到2011年中国的光伏多晶硅产 量将占世界总产量的34%左右151。 图片和X射线衍射谱分别如图l和图2所示。从图l 在光伏多晶硅的生产过程中,需要将高纯的晶体 中可以看出废料的颗粒度非常细小,进一步的激光粒 硅锭切割成硅片。一般以碳化硅为切割磨料,采用线 度分析表明其平均粒径约为7.351山m;由图2可知废 切割方式进行加工。切割时硅锭中约44%一52%的料的主要成分为硅和碳化硅。 晶体硅被切磨成硅粉,与碳化硅磨料以及切割液共同 1.2实验配方 形成切割料浆[61。当前对于切割料浆的回收利用一般 本实验采用线切割废料为主要原料制备碳化硅 仅限于其中的切割液和碳化硅磨料,而对于料浆中高 陶瓷,其工艺原理是在保护气氛下使金属硅粉熔化并 纯硅的回收方法尚未成熟。因此切割料浆经回收后的 填充于碳化硅颗粒之间的间隙,实现碳化硅陶瓷的致 残渣中含有大量硅粉、未分离彻底的碳化硅磨料以及 密化。因此试样中硅粉与碳化硅的相对含量是影响材 因缺乏磨削能力而丢弃的碳化硅颗粒,该部分残渣由 料制备与性能的决定性因素,本实验通过改变碳化硅 于缺乏利用价值而往往作为工业废料直接丢弃[7-91。 的加入量来间接调节配方中金属硅的相对含量,以研 本文以多晶硅线切割废料为研究对象,通过加入 究不同的碳化硅加入量对试样性能的影响,所制定的 适量碳化硅粉和添加剂探讨利用其作为主要原料制 试验配方如表l所示。 备碳化硅陶瓷的可能性,其目的一方面在于降低碳化 1.3实验工艺 收稿日期:2012-07--04 万方数据

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