催化剂、基底对ECR-CVD法制备碳纳米管的影响.pdfVIP

第 卷第 期 东 北 大 学 学 报 （ 自 然 科 学 版 ） ， 25 10 VOl.25 NO.10 年 月 （ ） 2004 10 JOurnal Of NOrtheastern Universit Natural Science 0ct. 2 0 0 4 y !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 文章编号： （ ） 1005-3026 2004 10-0980-04 催化剂、基底对 ECR -CVD 法 制备碳纳米管的影响 1 1 1 2 王 志 ，巴德纯 ，蔺 增 ，刘 飞 （ 东北大学 机械工程与自动化学院，辽宁 沈阳 ； 中国科学院 物理研究所，北京 ） 1. 110004 2. 100083 摘 要：采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积技术（ ）， 和 为气源， ECR-CVD C~4 ~2 分别以 ， 纳米粒子及 （ ）溶胶为催化剂在多孔硅基底上制备了碳纳米管；在 （ ） Fe 0 CO Fe N0 Si 111 3 4 3 和石英基底上以 纳米粒子为催化剂实现了碳纳米管的生长 使用扫描电子显微镜（ ）、 Fe 0 · SEM 3 4 透射电子显微镜（ ）对样品的形貌、尺寸及结构进行表征 讨论了催化剂和基底对碳纳米管形 TEM · 貌、密度和取向性的影响 结果表明：催化剂影响碳纳米管的成核密度和生长速度，基底通过影响 · 催化剂的特性和分布均匀性，对碳纳米管的形貌和生长模式产生重要影响，以Fe 0 为催化剂在 3 4 多孔硅上实现了碳纳米管的最优定向生长· 关 键 词：碳纳米管； ；催化剂；基底；纳米粒子 ECR-CVD 中图分类号： ； 文献标识码： TB 383 0 614.81 A ［］ 自1991 年日本科学家 Ii imaj 1 发现碳纳米 底上制备了碳纳米管；并以Fe 0 纳米粒子为催 3 4 管（ ）以来，因其独特的力学、电子及化学特 化剂，在 （ ）和石英片基底上实现了碳纳米管 CNT Si