单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试的系统集成.pdfVIP

V01．18 第18卷第5期 光学精密工程 No．5 andPrecision Optics Engineering 2010 2010年5月 May 文章编号1004—924X(2010)05—1204—08 单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试的系统集成 汪 红，汤 俊，刘 瑞，陈 晖，丁桂甫 (上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室 微米／纳米加工国家重点实验室，上海200240) 摘妻：为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试，开发了一套成本较低的单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试系 统。首先，根据有限元模拟优化设计测试样片，使其能够易于夹持、准确对中，以利于应力和应变的测量。接着采用三维 非硅UV-LIGA微加工技术制备了Ni薄膜样片。根据单轴拉伸测试过程和硬件构成，以VisualBasic为平台编译了一 套数据采集与分析系统。最后，应用该测试系统完成对电镀Ni薄膜材料性能的测试。实验结果表明，该系统能够精确 测试试样应变，精度达到0．01gtm，拉伸力精度达到mN级。得到的电镀Ni薄膜材料的杨氏模量约为94．5GPa，抗拉强 度约为1．76OPa。该系统基本满足微米尺度材料单轴微拉伸力学性能测试的需要。 关键词：材料力学测试；微机电系统；单轴微拉伸；有限元模拟；UV-LIGA；杨氏模量；镍 中图分类号：TB302．3文献标识码：A doi：10．3788／OPE1204 uniaxialtensiletest for mechanical Integrated systemmeasuring ofMEMS properties materials WANG Rui，CHENHui，DINGGui-fu Hong，TANGJun，LIU (National Fabrication Institute LaboratoryMicro／Nano Key of Technology，Researchof Micro／NanoScienceand ThinFilmand Technology，KeyLaboratoryfor Micofabrication the J 200240，China) Technologyof MinistryofEducation，ShanghaiiaotongUniversity，Shanghai Abstract：Inordertomeasurethemechanical ofmicron-scalethinfilms，an uniaxialten— properties int69rated is siletest withlowercost for mechanical ofMEMS system developedmeasuring properties materials．Firstly， test are FiniteEl