溶胶-凝胶提拉法制备Mgx Ni1-xO薄膜与表征.pdf

第26卷第4期 半导体学报 V01．26No．4 2005年4月 CHINESEJOURNAL0FSEMICONDUCToRS Apr．，2005 Nil一x 溶胶一凝胶提拉法制备Mgx o薄膜与表征* 何作鹏 季振国 杜 娟 王 玮 范 镓 叶志镇 (浙江大学硅材料国家重点实验室，杭州 310027) 摘要：利用溶胶一凝胶提拉法在石英玻璃衬底上制备出吸收边波长位于地球表面太阳光谱日盲区(240～280nm)内 谱结果表明，MNi，一，0吸收边随着Mg含量的变化而发生改变，当Mg含量z在o．2～o．3之问时，薄膜的吸收边 254nm的紫外光具有很好的光电导特性，光照前后薄膜电阻变化率达40％，因此，我们可以认为M＆Ni。一。0(z— o．2～o．3)薄膜材料有望应用于日盲区的紫外探测． 关键词：氧化镍；日盲；紫外探测；能带调节 PACC：8120 中图分类号：0484．1 文献标识码：A 文章编号：0253—4177(2005)04一0721一05 度约为3．37eV，不适合作为日盲紫外探测器， 1 引言 M＆Zn，一。O虽然在一定程度上调节了其禁带宽度， 但是由于ZnO与MgO晶体结构上的差异，两者的 随着紫外探测技术的发展，价格便宜、性能稳定 固溶度有限，薄膜禁带宽度只能在一定范围内调节， 可靠的紫外探测器件逐渐成为研究的热点之一，尤 其光谱响应仍不能被调节到日盲光谱范围内．为解 其是工作于地球表面日盲区(波长为240～280nm)决上述问题，本文研究了Mg。Ni，一。O体系，期望通 范围内的紫外光探测器．日盲区紫外探测器可应用 过调节薄膜的成分，实现对薄膜吸收边(禁带宽度) 于导弹尾焰探测、化学火焰探测以及短波长光通信 的调制，使之处于日盲光谱范围内．实验结果表明， 等军事、民用领域．目前，对紫外探测器的研究主要 当薄膜内的Mg含量z在o．2～o．3范围内，薄膜的 集中在GaAlN体系[1~6]，其主要的制备方法有化学 气相沉积(CVD)、分子束外延(MBE)等口~9]．虽然O)对波长为254nm的紫外光具有很好的光谱响应 采用GaAlN体系作为日盲紫外探测器取得了很大 的研究进展，显示出非常诱人的前景，但是受到衬底 望应用于日盲紫外探测领域． 材料的制约，GaAlN体系在光电子器件领域的发展 受到很大的限制．同时，制备GaAlN体系工艺复杂、2 实验 成本较高，而氧化物的制备相对来说工艺比较简单、 成本较低．因此，探索可用于日盲紫外探测领域的氧 化物材料就显得很有现实意义．据我们所知，氧化物 (Ac)。·4H。O)为原料，乙二醇为溶剂，冰醋酸为催 作为紫外探测器的研究，主要集中在ZnO及其 0’11]．室温下，ZnO禁带宽配制溶胶，并在60℃下磁力搅拌1h，陈化24h，获得 M氍Zn，一：O等合金体系[1 03103)资助项目 何作鹏 男，1979年出生，硕士研究生，现从事半导体材料与器件方面的研究． 季振国男，1961年出生，研究员，博士生导师，从事半导体材料与器件研究．Email：jiz92@zju．edu．cn 2004一07一08收到，2004—10一27定稿 ⑥2005中国电子学会 万方数据 722 半导体学报 第26卷 均质透明的绿色溶胶．衬底采用石英玻璃，使用前， 个光电导型紫外探测器原型器件的光谱响应． 首先在丙酮溶液中超声波清洗20min，除