轻敲模式下AFM快速扫描技术研究.pdfVIP

中文摘要 Force 原子力显微镜(Atomic Microscope，简称AFM)作为纳米技术研究的 重要工具，其广泛应用支持和推动着纳米技术的飞速发展。从AFM发明至今， 人们一直在致力于对原子力显微镜不断的完善和使其成为更加通用的仪器的研 究。传统的AFM在轻敲模式下成像速度较低，限制了AFM对动态过程的观测 能力。这主要是由于探针机械振动响应较慢及探针高频机械振动不稳定性等因素 造成的。提高AFM在轻敲模式下的扫描速度，有利于观测到生物的动态过程， 对于完善原子力显微镜功能非常重要，并且将对生物等其他领域的发展具有重要 意义。 本论文通过对国内外AFM快速扫描技术的研究，将理论与实验相结合，分 析了影响轻敲模式下AFM扫描速度的关键因素及其机理，并着重研究了AFM 反馈带宽对扫描速度的限制，通过实验验证了探针谐振频率及AFM参数设置对 扫描速度影响的机理分析的准确性，奠定了研究建立高速AFM系统的理论基础。 论文主要包括以下几个方面： 1．依据AFM工作原理，提出了轻敲模式下AFM快速扫描技术的研究目的 和意义，解释了AFM扫描速度的基本概念，结合国内外文