管式真空提纯炉的结构设计及其节能的研究.pdfVIP

TUBEVACUUMPURIFICATIoNFURNACE DESIGNAND ENERGYCoNSERVATIoN A ThesisSubmittedto Shaanxi of Scienceand University Technology inPartialFulfillment ofthe Requirement forthe of Degree Masterof Science Engineering By DanDou Chen Supervisor：Prof．Hai--feng May．2013 管式真空提纯炉的结构设计及节能研究 摘要 近年来，由于能源短缺和环境污染的影响愈加明显，节能减排不论在国 内还是国外，政府都额外的予以重视。管式真空提纯炉作为一种先进的实验 设备，它在金属，纳米材料，多晶硅等的提纯中都有广泛的运用。但是，管 式真空提纯炉也是一种高耗能的设备。它在工作中，将电能转化为热能来进 行相关材料的加热，进行相关的操作。 本文依据工业电阻炉设计手册，真空电阻炉的设计等理论及相关的标 准，对管式真空提纯炉进行了功率的确定，电热元件的计算，炉膛尺寸的确 定，炉衬材料包括耐火材料和保温材料的选取，以及炉塞和料盘的设计等。 又根据管式真空炉的工况要求和真空系统的设计原理，对管式真空炉的真空 系统和温度控制系统进行了相应的计算和设计。然后，我们利用有限元法， 结合管式真空提纯炉自身的特点，利用ANSYS软件，对管式真空提纯炉的 炉衬材料进行了热分析，得出了在稳定工作条件下的温度场分布及其特点， 分为两层，靠近电热元件的一层温度较高，传热方式主要以辐射为主；靠近 炉壳的这层，传热方式主要是以热传导为主。同时，。我们还根据热力学第一 定律，对管式真空提纯炉整个系统建立了能量利用过程的物理及数学模型， 进行了热平衡分析，分析了整个装置工作中能量的利用状况。 再根据前文中ANSYS热分析和热平衡分析的结果，结合传热学、热力 学等学科的相关原理和知识，和工业上的节能技术和手段，对管式真空提纯 炉能量损耗严重的部分，提出了几条能提高管式真空提纯炉的能量利用效率 的技术手段；并通过相关的理论知识进行讨论分析，提纯管式真空提纯炉可 以在工业生产上得以利用的节能改造方案。 关键词：多晶硅，冶金法提纯，结构设计，能量计算，节能方案 TUBEVACUUMPURIFICATIoN AND FURNACESTRUCTURALDESIGN CoNSERVATIoN ABSTRACT Inrecent to andenvironmental years，dueenergyshortage pollution becomesmore