X射线用KirkpatrickBaez显微镜成像质量的研究.pdfVIP

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2015-10-11 发布于重庆
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X射线用KirkpatrickBaez显微镜成像质量的研究.pdf

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X射线用KirkpatrickBaez显微镜成像质量的研究

第卷第期强激光与粒子束 ! ! ! #$%!’$! ! ! ! 年月 ! ())* ! +,-+ ./012 34512 4’6 .427,831 914:5 ;=())* ! ! 文章编号! # !))!?@(( ())A)!))*!)A ! 射线用显微镜成像质量的研究 ! #$% ’($#)%*+’,- 潘宁宁! 王占山! 顾春时! 秦树基! 陈玲燕 ! ! ! ! 同济大学物理系!上海 # ()))B( 摘要! 对惯性约束聚变的一种重要诊断方法$$$ 型结构显微镜成像方法进行了研 CDEF HEDIF9JK ! ! ! ! G 究%计算了型结构显微镜的主要像差!并分析得出造成轴上点像差的主要因素是球差!占像 CDEF HEDIF9JK G 差的B?L %基于光线追迹方法模拟出这种结构的成像过程!比较了不同反射镜长随视场变化对物面分辨率的影响!发现为了保证物面的空间分辨率能达到 ,8M研究要求视场应尽量控制在 ()) N 以内%最终得出能量 ! 在 ’视场为 !分辨率小于的型结构的模型%提出在装调过程中重要公差 FJ# ()) N !) N CDEF HEDIF9JK ! ! G 计算方法!得到数值孔径为时!角度装调公差应在范围内% )))@O P))OQ ))*OQ 关键词! 掠入射成像系统( R射线( 光线追迹( 空间分辨率( 角度公差 ! ! ! ! ! ! ! 中图分类号! 73*A! 文献标识码! 4 ! ! ! ! ! ! ! ! 惯性约束聚变 #是利用高功率的激光束或粒子束辐照聚变燃料!聚变燃料被压缩至高温以 ,8M A)))S !! * +