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随机阵列纳米蛾眼减反结构的制备及应用研究 中文摘要 随机阵列纳米蛾眼减反结构的制备及应用研究 中文摘要 纳米蛾眼结构是指结构的特征尺寸远小于作用光波长的一种结构，可等效于一个 连续变化折射率的介质层，能够在一个较宽的波谱范围内抑制反射光的损失。相比于 传统的增透薄层，纳米蛾眼减反结构具有宽波谱和宽入射角的减反特点，使其在多种 领域具有应用前景。例如：硅基太阳能光伏电池中，在硅基表面制备一层纳米蛾眼减 反结构，可将反射损失由33%降低到3% 以下，极大的提高电池的光能利用率。本文 提出一种随机纳米蛾眼减反结构，主要针对随机纳米蛾眼减反结构的制备及应用进行 了分析研究。 本文基于严格耦合波理论，对随机阵列纳米蛾眼减反结构进行模拟计算。分别对 高度不同的周期结构、不同直径的周期结构和随机排布的纳米蛾眼结构进行了分析。 与均匀周期结构对比发现，高度不同的周期结构对反射率具有较大的影响。并对纳米 蛾眼减反结构的平均高度、平均密度和平均直径进行优化，在平均高度在 300nm～ 500nm 之间，平均直径低于100nm 时可获得最佳的减反性能。 纳米蛾眼减反结构的制备是通过银镜反应制备的金属银层，经高温快速退火处理 形成随机分布的银粒子掩模，然后利用刻蚀工艺对具有银粒子掩模的硅衬底进行刻 蚀，从而形成随机分布的纳米蛾眼减反结构。其中重点分析了退火温度和银层厚度对 银粒子密度及银粒子的平均直径的影响，以及刻蚀时间与银粒子密度对减反效率的影 响。实验发现，随着银层厚度和退火温度的增加，银粒子的平均直径相应增加，而平 均密度在变小；同时，分析了不同刻蚀高度和不同平均密度对反射率的影响，获得了 平均反射率为 4.5% 的纳米蛾眼减反结构；最后利用此制备纳米蛾眼减反结构的方法 也在石英基底上进行了应用，制备的双面纳米蛾眼结构的石英样品的透过率高达 99.3% 。 纳米蛾眼减反结构在聚合物太阳能电池上进行了应用，利用软模纳米压印技术将 纳米蛾眼减反结构压印在聚合物太阳能电池的传输层上，实验发现，太阳能电池的短 路电流密度有效提高了11.17%，平均外量子效率提高了13%。 I 随机阵列纳米蛾眼减反结构的制备及应用研究 中文摘要 关键词: 亚波长结构，蛾眼减反结构，反应离子刻蚀，减反增透膜 作 者：董晓轩 指导老师：陈林森 II 随机阵列纳米蛾眼减反结构的制备及应用研究 英文摘要 Study on Fabrication and Application of “Moth-eye” Antireflection Nanotructure Based on Random Arrays ABSTRACT Moth-eye antireflection structures is the structure whose characteristic size is far less than the wavelength of incident light. The moth-eye antireflection structure can be equated to an dielectric layer with gradually changing refractive indices and which can suppress the reflective light within a wide spectral range. In contrast with classic antireflection