微小差分电容检测技术的研究.pdfVIP

2004年 第 18卷 第 3期 测 试 技 术 学 报 VoI．18 No．3 2004 (总第 49期) JOURNAL 0FTEST AND M EASUREMENT TECHNOLOGY (Sum NO．49) 文章编号 ：1671—7449(2004)03～0203—05 微小差分 电容检测技术的研究 朱 武 ，张佳民 ，熊 斌 ，车录锋 ，王跃林 (1．上海电力学院 信控系，上海 200090；2．中国科学院 上海微系统与信息技术研究所 ，上海 200050) 摘 要 ： 在 MEMS电容式加速度传感器的测试 中，由于受单放大器开环增益有限的影响 ，提高加速度计 的分辨力和稳定性是非常困难的．针对这种情况 ，本文采用组合放大器和地对地解调等先进技术对高频小 信号进行高精度处理 ，实验结果表明，电路可检测的最小差分 电容可达到 5aF(5×10 。F)． 关键词： 加速度计 ；微机械；组合放大器 中图分类号 ： TP212 文献标识码 ：A ResearchofDetectingTechniqueofM icroDifferentialCapacitance ZHU Wu ，ZHANGJia—min ，XIONG Bin。，CHELu—feng。，WANG Yue—lin。 (1．ShanghaiInstituteofElectricPower，Shanghai200090，China；2．StateKeyLab．ofTransducerTechnolog， ShanghaiInstituteofM icrosystem andInformationTechnologyChineseAcademyofSciense，ShangHai200050，China) Abstract： ItisdifficulttoimprovetheresolutionandthestabilityOfmicroaccelerometerduetoIimited open loop gain of singleamplifier in the testofcapacitive microaccelerometer． In this paper，the advancedtechniquesofcompositeamplifierandgroundtogrounddemodulationwereusedtohandlehigh frequency weak signalwith high precision．Expermentalresult shows that the lowestdifferential capacitancetestedinthecircuitreachesto5aF(5×10一 F)． Keywords：capacitiveaccelerometer；micromachining；compositeamplifiers 0 引 言 2O世纪 8O年代，随着微电子技术、半导体集成 电路工艺的日益完善 ，人们开始把 Ic制造技术引入 精密机械制造，出现了微机械、微型传感器、微型执行器等微机械制造技术．把微型机械与其控制处理 电路集成在一起 ，组成了微机 电系统 MEMS．尤其是近 1O多年来微机械 电容式力平衡加速度计成为人 们研究的热点_】～ ，发展迅速 ，已有大批量生产的例子 [7]．这种以MEMS技术的电容式传感器，可以将 被测非电量的变化转换成 电容量的变化，广泛应用于位移、振动、角度、加速度等物理量的测量．电容式 传感器将被测非电量信号变换成电容变化后 ，必须采用测量线路将其转换为电压、电流或频率信号．由 收稿 日期 ：200102—19 作者简介 ：朱 武 (1969一)，男，副教授，博士，主要从事智能仪器、大功率超声应用研究 204 测 试 技 术 学 报 2004年第 3期 于这种 电容传感器 电极的极板面积非常小，其电容量一般只有几个 pF，敏感被测量的变化量就更小 ，此 外 ，为了减小传感器的阻抗，在测量中往往采用较高频率信号作为传感器的激励信号 ，因此 ，这种高频 微弱信号