上海微电子装备有限公司发展思路研析.pdfVIP

MBA00SM073l。海雄 海微屯予装备何限公-d发胜思路研究 摘要 、 电子装备制造技术是目前全球微细加工技术中精度与难度最高、技术最为密 氧咚同 时也是发展最快的一种系统性的工程技术之一。微电子制造设备中，光刻机 涉及的微电子制造工序最多，技术含量最高，研制难度最大，售价也最为昂贵。高 分辨率光刻机更是国际上发达国家对中国限制进口最严的装备。科技部和上海市决 定成立上海微电子装备有限公司承担o．1岬光刻机的开发研制工作。丫 本文论述了上海微电子装备有限公司的战略目标、原则和市场。公司的战略目 标是成为世界一流的微电子装备企业。引进技术和自主创新是公司实现目标的途 径。新一代光刻机将有广大的市场和利润空间。 本文运用现代管理的理论，提出公司的一般竞争战略。公司必须考虑自己的优 势和劣势，根据经营能力选择，通过资源的整合，组织安排、研究开发系统的运 用，参与市场竞争，提高企业的核心竞争力。 本文还论述了公司开展国际合作的可能性和必要性。就技术许可、合作研究、 战略联盟、合资企业、创新网络等合作方式展开具体讨论。提出了“拿来主义”与 自力更生相结合、关键技术攻关与工艺紧密结合和关键技术攻关与基础研究紧密结 合的开发核心技术的原则。 最后，论文提出了建立创新管理体系的方法。公司将按现代企业制度运营。并 将根据公司高技术、多学科、人才汇集等特性，制订能广泛吸引各类高、精、尖、 特人才、具有自主开发和创新能力、可与国际先进水平同步发展、有持续竞争能力 的企业运行机制。 ． 关键词：微电子敲备公司战略光刻机 竺!垒!!!竺!!i!：塑些 ．!：塑壁!!王鳖鱼笪堡竺型堡塑鲨塑!!!塑 Abstract andmost Microelectronics isthemostdifficult precisiontechnology technology equip alloverthe wellasamost inminuteness world，as rapidlydeveloped machiningindustry hasthemost value product expensive engineeringtechnology．Lithography system micro．一electronicsandisinvolvedthemost betweenthe equipments workingprocedure． As most andthemostdifficulttobe technology containinghigh toentertoChinathemost isrestricted strictlybydeveloped microlithographysystem and and intheworld．ChinaScience Board countries Technology Shanghaigovernment toset Micro