pld多层pr生物传感器的制备与实验研究.pdfVIP

PLD多层SPR生物传感器的制备与实验研究 摘 要 随着薄膜制作技术和精细加工技术的快速发展，光学薄膜技术也日益成熟起 来，它不仅广泛应用于光通信、光信息处理、光学测量等领域，而且在传感器方 面也逐渐显示出它的独特优越性和实用性，其在生化、医学、生命科学、环境检 测等领域的应用已经使它成为当今传感器领域研究的一个热点。本文利用PLD 技术制备光波导生物传感器所必须的光学薄膜，并在此基础上对传统的SPR生 物传感器进行了改进和实验研究，其具体工作如下: 1.采用先进PLD(脉冲激光沉积技术)在棱镜底部通过缓冲层制备出光学特性 优良的ZnO薄膜，改变了传统的光学制膜方法，大大提高了光学薄膜的均匀 性，并通过XRD (X射线衍射仪)和SEM (扫描电镜)检测了其结晶情况， 用实验数据及结果分析了其沉积温度和结晶质最之间的相互关系。 2.利用m线与数值计算相结合的方法测量了光学薄膜的厚度和折射率，为设计 多层SPR生物传感器提供了实验参数和理论依据。 3.理论分析多层SPR生物传感器的物理机理，并通过实验测量了对于不同检测 物的ATR谱线，通过与一般的SPR生物传感器的结果和数据比较发现:多 层SPR生物传感器具有更高的分辨力和解析力，从而为设计高分辨率、高解 析力的新型传感器提供了新的理论依据和实验参考。 关健词:PLD(脉冲激光沉积技术)，SPR(表面等离子共振)，ATR(衰减全反射) PLD多层SPR生物传感器的制备与实验研究 Withthegreatdevelopmentoffilmpreparationtechnology,opticalfilmhas gainedagreatprogress,ithasbeenusedinthefieldofopticalcommunication,optical messageandopticaldetection,especiallyintheaspectofopticalsensors;its advantageshavedrawnattentionsofalotofresearchersovertheworld.Inthispaper, anewmethodtoenhancetheabsorptionsensitivityofasamplebyutilizing metal-cladZnOopticalfilmwaveguideconfigurationtoreplacesinglemetalfilmin SPRsensorsisproposed.Thispapercanbedividedintothreeparts: First,theZnOfilmispreparedonthebottomofprismwiththePI.D伽ulselaser deposition)technologywhichisevenerthanthatispreparedbytraditionalmethod andtheopticalandcrystalcharacteristicsaredetectedbySEM andXRD technologies. Second,thefilmthicknessandrefractiveindexofZnOfilmaremeasuredbythe m-linemethod,whichprovideexperimentalparametersforthedesignofthe multilayerSPRbiosensor. Third,themultilayerSPRsensordesignisintroduced,theexperimentalsetupis basedontheconfigurationoftheattenuatedtotalreflection(ATR)method.The detectionmechanismisanalyzedtheoretically;thenumericalcalculationresultsshow thatthemultilayerSPRsensorexhibitsagreatsensitivi妙enhancementandhigh resolvingpower. Keywords:PL.D(pulselaserdeposition);SPR(surfaceplasmaresonanc