zns荧光膜的脉冲激光沉积及其特性研究.pdfVIP

摘 要 场发射平板显示器件由于具有高亮度、体积小、低能耗、商视觉性能等优点， 深受众多研究者的青睐。要制造出高质量的场发射平板显示器件，不仅需要高性 能的阴极，还需要与之相匹配的阳极荧光层以及先进的器件封装技术。 本论文从优化场发射平板显示阳极荧光层的角度出发，采用YAG固体激光 术，通过改变脉冲激光能量密度、射频辅助及环境气压、沉积温度、基体一靶距、 激光重复频率等参量，并采取对荧光薄膜进行退火处理等手段，制各出了具有较 高发光性能的ZnS荧光薄膜。并且具体分析了上述制备工艺条件对ZnS薄膜特 性的影响。通过XRD、SEM、AFM对制备样品的结构、形貌特性进行测试，利 用荧光光谱仪、亮度计对样品的光致发光和阴极射线发光特性进行了分析。研究 了ZnS薄膜的结晶状况、成分、膜厚等因素对其发光性能的影响。得出结论为： 在低脉冲能量下，使用时气等离子体羽辉射频辅助、沉积温度200C、选用基 体一靶距5cm、激光重复频率为3Hz并进行退火处理的薄膜样品具有较高的结 晶度，以及较好的发光性能。 在优化的沉积条件中制备了发光较好的绿色ZnS荧光薄膜，同时又尝试采 用了ZnO／ZnS双层薄膜来提高发光性能。结果表明制备的双层薄膜比单层薄膜 发光亮度有所提高，但还待进一步研究。 关键词：硫化锌：脉冲激光沉积； 射频；荧光薄膜；场发射平板显示 I Abstract emission muchattention researchersforits Field display(FED)wasgiven bymany as such advantageshighluminance，thinstructure，lowpowerconsumption，andhigh also visual make of cathodebut high FED，notonlysuperior property．To quality fluorescentanodeandadvancedsealedvacuum areneeded． matching technique To anodeof luminescentthinfilmswere atanAr optimize FED，ZnS prepared YAG assistedwitha atmosphereusing laser(1064nm)andpulsedXeCl(308nm)laser radio thelaser 13．56一MHzfrequency(RF)plaSma，throughvarying pulseenergy of density’radiofrequency(RF)andpressuredeposited to rate．Wealso the substrate studied distance，laserrepetition temperature，target films electron byannealing．X-raydiffr