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ge-si
摘 要
论了可能的发光机理。采用射频磁控溅射技术制备了Ge—SiO:薄膜,随后在N:中进
t
,
’i 纳米晶粒的平均尺寸从3.9nm增至6.1nm。
测量了薄膜的PL谱和PLE谱。在紫外光的激发下,所有的薄膜样品都发出很
强的紫光,峰位在394nm。随着Ge纳米晶粒的出现,样品有580nm的黄光发出,
其强度随晶粒平均尺寸的增大而增强。分析表明,紫光来源于薄膜中的GeO缺陷;
黄光则来自于Ge纳米晶粒与SiO,基质界面处的发光中心。
|
时都发出肉眼可见的EL,峰位均在510nm处;在反向偏压下,没有光发出。而
向偏压下则检测不到EL。所得到的EL稳定,可重复。分析结果表明,对于只在正
的:而对于Au/Ge-SiO:/n-Si结构,载流子的产生则是过热电子碰撞电离的结果。
尽管它们的激发方式有所不同,但是载流子的复合过程却是类似的,主要通过SiO,
基质中的发光中心复合发光。百
f
关键词Ge—SiO,薄膜射频磁控溅射光致发光电致发光发光机理
Abstract
InthiS of
dissertation,the
properties
andmechanismsof
fiims
electr01uminescence(EL)fromGe—SiO,thin 1ight
have were on
emiSSionbeenstudied.Ge—Si0。thinfilms Si
deposited
substratesradio Witha
by frequency sputteringtechnique
magnetron Ge—Si02
te wereannealedin for30minatdifferent
target.Films N。ambience
composi
t
microstuctureoffiims
werecharacterized
temperature.The byseveral
as andSOon.When
analysiStechniques,suchXR
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