ge-silt;,2gt;薄膜的光致发光和电致发光及其机理研究.pdfVIP

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ge-si

摘 要 论了可能的发光机理。采用射频磁控溅射技术制备了Ge—SiO:薄膜,随后在N:中进 t , ’i 纳米晶粒的平均尺寸从3.9nm增至6.1nm。 测量了薄膜的PL谱和PLE谱。在紫外光的激发下,所有的薄膜样品都发出很 强的紫光,峰位在394nm。随着Ge纳米晶粒的出现,样品有580nm的黄光发出, 其强度随晶粒平均尺寸的增大而增强。分析表明,紫光来源于薄膜中的GeO缺陷; 黄光则来自于Ge纳米晶粒与SiO,基质界面处的发光中心。 | 时都发出肉眼可见的EL,峰位均在510nm处;在反向偏压下,没有光发出。而 向偏压下则检测不到EL。所得到的EL稳定,可重复。分析结果表明,对于只在正 的:而对于Au/Ge-SiO:/n-Si结构,载流子的产生则是过热电子碰撞电离的结果。 尽管它们的激发方式有所不同,但是载流子的复合过程却是类似的,主要通过SiO, 基质中的发光中心复合发光。百 f 关键词Ge—SiO,薄膜射频磁控溅射光致发光电致发光发光机理 Abstract InthiS of dissertation,the properties andmechanismsof fiims electr01uminescence(EL)fromGe—SiO,thin 1ight have were on emiSSionbeenstudied.Ge—Si0。thinfilms Si deposited substratesradio Witha by frequency sputteringtechnique magnetron Ge—Si02 te wereannealedin for30minatdifferent target.Films N。ambience composi t microstuctureoffiims werecharacterized temperature.The byseveral as andSOon.When analysiStechniques,suchXR

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