钙钛矿结构膜的制备和性能研究.pdfVIP

摘 要 摘 要 钙钛矿结构氧化物薄膜是当前国际上备受关注的功能材料，在微电子学、光 电子学以及半导体器件等方面具有广阔的应用前景。本论文选取几种重要的钙钛 矿结构氧化物薄膜材料，围绕薄膜以及铁电薄膜／导电氧化物薄膜异质结构的制 备、电学性质、过渡金属掺杂及光学性质进行研究，取得了一些有意义的结果。 主要内容如下： 、 退火温度对薄膜结构的影响。／发现在较低退火温度下得到(1lo)择优取向的 薄膜不同择优取向可以用晶格失配关系和热应力来解释；J巧 7 ， 2．分别研究了氧气气氛下和空气气氛下热处理对LNO薄膜的影响。／发现氧气条