原子力显微镜在纳米技术中若干应用与定量分析.pdf

摘要 摘要 原子力显微镜作为扫描探针显微镜的一个重要成员，是纳米科学技术中的主 要工具之一。由于具有纳米甚至原子量级的超高分辨率和柔性的测量环境要求使 得原子力显微镜在纳米科技各领域，例如纳米计量、表面科学和生物科学等中的 应用愈来愈广泛。 本文主要从多个侧面研究原子力显微镜应用的若干重要问题。首先，探讨原 子力显微镜测量中针尖和样品形貌的耦合以及相应的样品形貌重建。利用基于数 学形态学算法，通过数值模拟，研究影响原子力显微镜粗糙度测量的探针和样品 的几何因素。分析中同时考虑针尖曲率半径、被测样品表面的原始相关长度、标 准偏差和高度分布形态等综合因素。并且从实验上表明了扫描速率对表观图像质 量和测量粗糙度的影响。这部分工作在AFM扫描图像定量评价上有重要意义。 其次，从理论和实验上分析现今广泛采用的振动测量模式的一些机理，如探 针振动过程中的振幅一位移和相位一位移曲线以及探针的非线性振动现象。利用 3D模式，系统地对振动模式中原子力显微镜微悬臂的非线性振动特性作了实验 分析。对已有的利用振动模式扫描极化力显微镜对DNA测量实验数据进行系统 建模分析，发现计算的DNA径向弹性模量随变形增加而增加，说明基底效应对