《厚度对溶胶-凝胶法生长的ZnO薄膜光学性质的影响》.pdfVIP

第37卷第4期 河南大学学报(自然科学版) v。137 No．4 2007年7月 J0“rnal。fHena“Un¨，efs』ty(Na…falScIence) Ju】．2007 厚度对溶胶一凝胶法生长的Zn(_)薄膜光学性质的影响 吴颖超“2，张松海3，娄辉1，张伟风“ (1河南大学物理与电子学院微系统物理研究所，河南开封475001； 2漂河职业技术学院机电工程辱，y呵南漂河462000：3．安用钢锭公司职工大学，河南安阳4j∞04) 摘要：利用㈣J—ge【旋涂法在普通盖玻片1．牛长rzn()薄膜，用光学透射睹、光鼓发光谐和原子力缸微术研究了 zn()薄膜的光学性质和表面形貌结果发现．在一定薄膜厚度范围内．紫外发光带和光学吸收边均随着薄膜厚度 的减小而单调蓝移，且紫外发光强度递增，峰宽变大．综合光致发光谱、光学透劓谱和薄膜袁lnI形貌，刘薄膜中晶粒 尺寸、膻力、缺陷等刘光学性质的影响进行了讨论 关键词：zn()薄膜；厚度；光学性质；应力 3 中国分类号：()472 文献标识鹤：A 文章编号2007 ThicknessEffect0n ofZnoThinFiIms 0pticalProperties Prepared by Process Sol—gel WU Ying—cha01一，ZHANGhap，I。()U Song Hull，ZHANGWei～扎n91’ (1 475001，吼znⅡ， ，”制“据n，蚰f椰”f删肼”￡“，鼢“o，珊_卅sⅡnd剧比fM圳，胁础n㈨w卅i协，椭洲KⅢ向g 2臃∞H删，叭J，A‰^删衄卜刷甜}Ⅲ凸g删”小f如眦nf圳缸(h“加n洲1孙删zofz州，，，埘讯P462000，(mⅢ， 3 L聃￡删Hz妙n，‰玎删dⅣ0小㈣，A”弹gJ，T卅8．＆眦￡‘机)“声已，L耐，Anmg455004+(巩2舢) fil…ere on ci AI目tract：Zl…)xldc(Zn())thln submrates methud，rh prcparedgJass bys‘J卜g spIn—c【】dting opticaI thcfilm㈣rc propertlcsandⅢfacemorphologl…)f lnVcstIgateduslng lrans㈣sion atomlc The spcc￡ra，and resul【*出。wedth址b。ththe forc㈣lcr。scopc(AFM)，respect【veIy aIldL11e absofptlonedge PI。peakbiue_晶IfLedwIthadecreaseoft11ickness。ftf】eⅢms，Hnd1hatPI。IntenslEvand llnewldLh1ncreasedr。rthef11nmwLthasmallerth‘cknessThe graIn81zes，sLres5，defecls¨1tlle