《Mg含量对MgZnO薄膜光学性质的影响》.pdfVIP

第 29卷 第 3期 液 晶与显示 VoL29 No．3 ChineseJourna1ofLiquidCrystalsandDisplays 2014年 6月 Jun．2014 文章编号 2014)03—0350—05 Mg含量对 MgZnO薄膜光学性质的影响 高丽丽 ，徐 莹 ，张 淼 ，张跃林 ，姚 斌 (1．北华大学物理学院，吉林 吉林 132013；2．吉林大学物理学院，吉林 长春 130012) 摘要 ：利用射频磁控溅射技术 ，高纯的氩气作为溅射气体 ，分别选用不 同Mg含量 的MgZnl 0陶瓷靶材 ，在石英衬底 上生长六角纤锌矿结构的MgZn1x0薄膜 ，并对薄膜进行 了后期热退火处理 。研究了Mg含量对 MgZn一0薄膜光 学性质的影响。实验结果显示 ，随着Mg含量的增加，薄膜的带隙变宽；光致发光光谱中近带边发射中心蓝移，近带边紫 外发射