《超声引线键合系统工艺参数优化与试验研究》.pdfVIP

第35卷第5期 菏 泽 学 院 学 报 2013年 10月 Vo1．35 No．5 JoumalofHezeUniversity Oct． 2013 文章编号：1673—2103(2013)05—0037—07 超声引线键合系统工艺参数优化与试验研究 冯武卫，张玉莲 (浙江海洋学院船舶与海洋工程学院，浙江 舟山316022) 摘 要：超声引线键合质量受多种键合工艺参数的影响，如键合时间、键合功率、键合压力和键合温度 等，每一个参数的不合理都可能导致整个键合过程失败．通过正交实验方法设计了键合工艺参数正交试验 表，利用键合强度作为键合质量指标对键合工艺参数进行了多参数优化；分析了各个工艺参数对键合质量的 影响，通过进一步细化分析得到了键合参数的最优组合．优化结果实验证明了这种方法的良好效果．若应用 于不同型号键合设备工艺参数的优化，只需对正交试验表进行适当调整即可． 关键词：超声引线键合系统；键合；工艺参数；正交实验 ；参数优化 中图分类号：TN605 文献标识