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一种提高HWS采样率的透镜式微扫描方法.pdf
第36卷第5期 应用光学 V01．36No．5
2015年9月 of
JournalApplied
Optics Sep．2015
文章编号：1002—2082(2015)05-0768—06
一种提高HWS采样率的透镜式微扫描方法
马辰昊，付跃刚
(长春理工大学光电工程学院，吉林长春130022)
摘要：为改善传统哈特曼一夏克波前传感器对待测波前采样不足的缺点，对哈特曼一夏克波前传
感器和微扫描进行了分析，提出一种提高哈特曼一夏克波前传感器采样率的透镜式微扫描方法。
通过在微透镜阵列之前加入由PZT驱动的透镜扫描装置，对CCD采集的光斑分布情况进行高
分辨率微扫描图像重建，通过对重建后的光斑分布进行波前重构，提高了哈特曼波前传感器对
待测波前的采样率。通过对比实验验证，波前复原精度提高了41％，可以有效提高哈特曼传感
器对波前探测的精度。
关键词：应用光电子学；哈特曼一夏克波前传感器；透镜式微扫描；PZT驱动
中图分类号：TN247 文献标志码：A doi：10．5768／JA0201536．0503001
Methodfor HWS rateonlens
increasingsampling micro-scanning
Ma
Chenhao，Fu
Yuegang
(Schoolof ofScienceand
Opto-EleetronicEngineering，ChangehunUniversity Technology，
130022，China)
Changchun
orderto the ofinsufficientofmeasuredwavefront
Abstract：Inimproveshortcoming sampling
intraditionaIHartmann—Shackwavefrontsensor(HWS)，theHartmann-Shackwavefrontsen—
were of micro—
sotand thesametime，themethodlens
micro—scanningtechnologyanalyzed，at
the rateinHartmann—Shackwavefrontsensorwas
scanningbyraisingsampling proposed．The
themicrolens the
lens devicedrivenPbZrTi03(PZT)wasaddedbefore
scanning by array，and
wasreconstructedforthe distributioncollected
high—-resolutionmicro—-scanningimage
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